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Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (Plasma-SNMS)

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Analytiker-Taschenbuch

Part of the book series: Analytiker-Taschenbuch ((ANALYTIKERTB,volume 16))

Zusammenfassung

Die Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (engl. auch: Sputtered Neutrals Mass Spectrometry) ist eine unter vielen anderen physikalischen Direktbestimmungsmethoden der Oberflächen- und Tiefenprofilanalytik, deren Grundprinzip sich anhand des gebräuchlichen In-/Output-Schemas leicht erläutern läßt (s. Abb. 1, [1, 2, 3]): Die Oberfläche des zu analysierenden Festkörpers wird mit energiereichen „Primär-“Ionen beschossen und unter anderem zur Emission von elektrisch neutralen „Sekundär-“Teilchen angeregt (vor allem Atome, auch Molekülbruchstücke). Diese Sekundärneutralteilchen (SN) werden teilweise einer Nachionisation unterzogen und dadurch einer massenspektrometrischen (MS-)Analyse zugänglich (s. Abb. 2; vgl. [2, 4, 5]).

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  1. Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie (ISAS), Bunsen-Kirchhoff-Str. 11, Postfach 101352, D-44013, Dortmund, Germany

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Jenett, H. (1997). Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (Plasma-SNMS). In: Günzler, H., et al. Analytiker-Taschenbuch. Analytiker-Taschenbuch, vol 16. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-60643-4_2

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