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Ein 70-kV-Elektronenmikroskop mit kalter Kathode und elektrostatischem Objektiv

  • Conference paper
Physikalisch-Technischer Teil
  • 12 Accesses

Zusammenfassung

Eine Analyse der Anforderungen an ein allseitig verwendbares Routinemikroskop ergab die Daten: Beschleunigungsspannung 70 kV, Grenzauflösung 20–25 Å, direkte elektronenoptische Vergrößerung bis 35000fach. Als besonders einfache Lösung bieten sich dafür die kalte Kathode und das elektrostatische Objektiv an. Die kalte Kathode wurde auf höhere Spannung und größeren Richtstrahlwert gebracht, wobei neue Erkenntnisse über die Optik dieser Gasentladung gewonnen wurden. Ein bei 70 kV betriebssicheres elektrostatisches Objektiv wurde auf Grund eingehender Untersuchungen über den Spannungszusammenbruch entwickelt. Die Vakuumanlage wurde den Anforderungen an Betriebssicherheit und erhöhten Kontrast angepaßt, wofür eine eigene Öldiffusionspumpe und ein Vakuummeter entwickelt wurden. Es sind Einrichtungen für Mikrobeugung und stereoskopische Aufnahmen eingebaut. Größter Wert wurde auf Einfachheit der Bedienung und Betriebssicherheit gelegt. Der Prototyp wurde deshalb über ein Jahr lang im täglichen Routinebetrieb des Forschungslaboratoriums getestet.

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G. Möllenstedt H. Niehrs E. Ruska

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© 1960 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

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Gribi, M., Thürkauf, M., Villiger, W., Wegmann, L. (1960). Ein 70-kV-Elektronenmikroskop mit kalter Kathode und elektrostatischem Objektiv. In: Möllenstedt, G., Niehrs, H., Ruska, E. (eds) Physikalisch-Technischer Teil. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-50195-1_58

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