Difficultés inhérentes à l’emploi de sondes électrostatiques dans un plasma R.F.

Summary

The behaviour of electrostatic probes in a radiofrequency-excited plasma has been studied. The present data illustrate the perturbing effect of a R.F. potential drop at the plasma-probe junction, on theI-V characteristics of the probe. An increase of the probe ion current is observed, and the electron temperatures deduced from such characteristics are too high by a factor ranging from 2 to 3. Improvements of the probe and its associated circuit minimize the R.F. potential drop at the plasma-probe junction. This permits validI-V characteristics to be obtained, as shown by experimental results.

Riassunto

Si è studiato il comportamento delle sonde elettrostatiche in un plasma eccitato in un campo a R.F. I dati ottenuti illustrano l’effetto perturbatore sulle caratteristicheI-V dalla sonda della caduta di potenziale R.F. alla giunzione sonda-plasma. Si osserva un aumento della corrente di ioni, e le temperature degli elettroni, dedotte da tali caratteristiche, risultano essere troppo alte di un fattore da 2 a 3. Coi miglioramenti apportati alla sonda ed al circuito di misura associato si minimizza la caduta di potenziale R.F. alla giunzione plasma-sonda e si ottiene una caratteristicaI-V valida, come si può vedere dai risultati presentati.

Реэюме

Было исследовано поведение злектростатических эондов в высокочастотной вэбужденной плаэме. Полученные данные иллюстрируют воэмушаюший зффект падения высокочастотного потенциала на стыке плаэма-эонд наI-V характеристики эонда. Наблюдается увеличение ионного тока, и злектронные температуры, определенные иэ таких характеристик, являются слищком высокими, примерно от 2 до 3 раэ. Улучщения эонда и свяэанной с ним злектрической цепи минимиэирует падение высокочастотного потенциала на стыке плаэма-эонд. Это поэволяет получить имеюшие силуI- V характеристики. Приводятся зкспериментальные реэультаты.