Summary
A vapour collect method is described in which the measurement of the number and kind of collected particles is based on the ability of Auger spectroscopy to measure both the thickness and composition of the collected layer. The small area needed for Auger analysis allows an experimental arrangement in which, due to the evaporating surface, the effect of heating of the collector was found to be negligible for the investigations involved in this work. An in situ Auger analysis of the evaporating surface makes it possible to investigate the effect of surface composition on evaporation phenomena. Investigations on the thermal evaporation of nickel, the diffusion of magnesium in nickel and the reaction of an oxide cathode layer with hydrogen at temperatures between 1030 K and 1300 K show the potentialities of this method.
Zusammenfassung
Ein Dampfsammeiverfahren wurde beschrieben, bei dem die Bestimmung der Anzahl und Art gesammelter Teilchen auf der Eignung der Auger-Spektroskopie beruht, sowohl die Dicke als auch die Zusammensetzung der gesammelten Schicht zu messen. Die kleine, für die Auger-Analyse benötigte Fläche ermöglicht eine Versuchsanordnung, bei der sich der Einfluß der Kollektorerhitzung infolge der (kleinen) Verdampfungsfläche als vernachlässigbar gering für die hier interessierenden Untersuchungen erwies. Durch In-situ Auger-Analyse der verdampften Oberfläche wurde die Untersuchung des Einflusses der Oberflächenzusammensetzung auf die Verdampfungsvorgänge ermöglicht. Untersuchungen über die thermische Verdampfung von Nickel, die Diffusion von Magnesium in Nickel und die Reaktion einer Oxidkathodeschicht mit Wasserstoff bei Temperaturen zwischen 1030 K und 1300 K zeigen die Möglichkeiten dieses Verfahrens.
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Verhoeven, J.A.T., van Doveren, H. A vapour collect method based on Auger spectroscopy. Mikrochim Acta 71, 331–344 (1979). https://doi.org/10.1007/BF01197403
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DOI: https://doi.org/10.1007/BF01197403