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Gassensoren und Analysengeräte

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Sensortechnik

Part of the book series: VDI-Buch ((VDI-BUCH))

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Zusammenfassung

In dem nachfolgenden Kapitel werden nichtoptische Gassensoren, die auf den chemischen Effekten Adsorption und Desorption basieren, beschrieben. Dabei werden nur die wichtigsten Typen behandelt. Bis auf die gassensitiven Feldeffekttransistoren werden alle Ausführungsformen in großer Anzahl industriell für verschiedenste Anwendungen hergestellt. Gassensitive Feldeffekttransistoren werden gegenwärtig von der Wissenschaft und Industrie verstärkt untersucht, da sie durch die Möglichkeit der preisgünstigen Herstellung ein großes Potential für die zukünftige Industrialisierung aufweisen.

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Notes

  1. 1.

    Dünne, selbsttragende dielektrische Schichten werden in der Mikromechanik oft fälschlicherweise als Membranen bezeichnet. Da sich diese Bezeichnung eingebürgert hat, wird sie auch im vorliegenden Kapitel verwendet.

  2. 2.

    http://www.appliedsensor.com/

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Authors and Affiliations

  1. Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM, Heidenhofstr. 8, 79110, Freiburg, Deutschland

    Katrin Schmitt

  2. Institut für Mikrosystemtechnik IMTEK, Universität Freiburg, Georges-Köhler Allee 102, 79110, Freiburg, Deutschland

    Jürgen Wöllenstein

  3. Fa. ABB Automation GmbH, 60488, Frankfurt (M), Deutschland

    Walter Fabinski

  4. SICK MAIHAK GmbH, Poppenbütteler Bogen 9b, 22399, Hamburg, Deutschland

    Michael Zöchbauer

Authors
  1. Katrin Schmitt
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  2. Jürgen Wöllenstein
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  3. Walter Fabinski
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  4. Michael Zöchbauer
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Corresponding authors

Correspondence to Katrin Schmitt , Walter Fabinski or Michael Zöchbauer .

Editor information

Editors and Affiliations

  1. Fakultät für Elektrotechnik, Institut für Elektrische Meßtechnik, Universität der Bundeswehr München, Neubiberg, Deutschland

    Hans-Rolf Tränkler

  2. Institut für Mikrosystemtechnik – IMTEK, Lehrstuhl für Elektrische Mess- und Prüfverfahren, Universität Freiburg, Freiburg, Deutschland

    Leo Reindl

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© 2014 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

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Schmitt, K., Wöllenstein, J., Fabinski , W., Zöchbauer, M. (2014). Gassensoren und Analysengeräte. In: Tränkler, HR., Reindl, L. (eds) Sensortechnik. VDI-Buch. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-29942-1_17

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