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Über einige Fehler von Elektronenlinsen

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Zeitschrift für Physik

Zusammenfassung

Chromatische und sphärische Aberration sind unvermeidbare Fehler der raumladungsfreien Elektronenlinse. Verzeichnung (Zerdehnung wie Zerdrehung) und (alle Arten von) Koma lassen sich prinzipiell beseitigen. Durch die Unvermeidbarkeit der sphärischen Aberration ist eine praktische, nicht aber eine prinzipielle Schranke für das Auflösungsvermögen der Elektronenmikroskope gegeben.

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Scherzer, O. Über einige Fehler von Elektronenlinsen. Z. Physik 101, 593–603 (1936). https://doi.org/10.1007/BF01349606

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