Zusammenfassung
Nach einer Klassifizierung möglicher Verunreinigungen und deren Auswirkungen auf die Ausbeute folgen Reinigungstechniken. Neben der mechanischen Reinigung werden chemische Lösungen zur Beseitigung der Partikel bzw. Störschichten diskutiert. Eine Reinigungssequenz verdeutlicht den erforderlichen zeitlichen Aufwand.
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Schumicki, G., Seegebrecht, P.: Prozeßtechnologie, Reihe Mikroelektronik. Springer, Berlin (1991)
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Hilleringmann, U. (2019). Scheibenreinigung. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer Vieweg, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7_9
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