Zusammenfassung
Entsprechend der Anwendungsbreite der Mikrosystemtechnik sind die verwendeten Materialien sehr vielfältig. Neben Silizium und seinen Verbindungen werden auch andere Halbleiter, Dielektrika und Metalle verwendet. Daß Silizium in der Mikrosystemtechnik häufig eingesetzt wird, gründet sich einerseits auf die aus der Mikroelektronik übernommenen ausgereiften Prozesse aber auch auf die sehr guten mechanischen und thermischen Eigenschaften sowie auf die für die monolithische Integration erforderliche Kompatibilität zur Schaltkreisherstellung. Der Elastizitätsmodul von Silizium liegt mit 150 GPa im Bereich von Stählen, und die thermische Leitfähigkeit liegt im Bereich der Metalle und hochwärmeleitfähigen Keramiken. Siliziumverbindungen werden als Passivierung, Maskierung oder als Funktionsmaterialien eingesetzt. Von besonderer Bedeutung ist für viele Prozesse die Verfügbarkeit und relativ leichte Herstellbarkeit von Siliziumoxid Si O2 und Siliziumnitrid Si3N4. Siliziumoxid ist ein hervorragendes Dielektrikum. Siliziumnitrid (Si3N4) weist zudem eine hohe Festigkeit bei guten dielektrischen Eigenschaften auf.
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Literatur
Altenbach, Johannes; Altenbach, Holm: Einführung in die Kontinuumsmechanik. Teubner, Stuttgart (1994)
Atkins, Peter K.: Physikalische Chemie. VCH, Weinheim, Basel, Cambridge (1990)
Desjonquerès, M.C.; Spanjaard, D.: Concepts in Surface Physics. Springer, Berlin, Heidelberg, New York, 2. ed. (1996)
Fotheringham, Gerhard; Kasper, Manfred; Klockau, Jörg: Layered transmission lines consiting of normal and superconducting materials, Proceedings 10th European Microelectronics Conference, Copenhagen, May 14–17 (1995), S. 116–122
Frenkel, Daan; Smit, Berend: Understanding molecular simulation: from algorithms to applications. Academic Press, San Diego, London, Boston (1996)
Grigoriev, Igor S.; Meilikov, Evgenii Z. (eds.): Handbook of Physical Quantities. CRC Press, Boca Raton, New York, London (1995)
Haase, Rolf: Thermodynamik der irreversiblen Prozesse. Dr. Dietrich Steinkopff Verlag, Darmstadt (1963)
Henzler, Martin; Göpel, Wolfgang: Oberflächenphysik des Festkörpers. Teubner, Stuttgart (1991)
Heuberger, Anton (Hrsg.): Mikromechanik: Mikrolertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1989)
Howe, James M.: Interfaces in Materials. John Wiley Sons, New York, Chichester, Weinheim (1997)
Kittel, Charles: Introduction to Solid State Physics. John Wiley Sons, New York, Chichester, Brisbane, 7. ed. (1996)
Landolt-Börnstein Neue Serie Gruppe III: Kristall- und Festkörperphysik, Bd. 11, Elastische, piezoelektrische, pyroelektrische, piezooptische, elektrooptische Konstanten und nichtlineare dielektrische Suszeptibilitäten von Kristallen. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1979)
Landolt-Börnstein Neue Serie Gruppe III: Kristall- und Festkörperphysik, Bd. 16a, Ferroelectrics and related Substances, Subvol. a: Oxides. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1981)
Landolt-Börnstein Neue Serie Gruppe III: Kristall- und Festkörperphysik, Bd. 18, Elastische, piezoelektrische, pyroelektrische, piezooptische, elektrooptische Konstanten und nichtlineare dielektrische Suszeptibilitäten von Kristallen. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1984)
Landolt-Börnstein New Series Group III: Crystal and Solid State Physics, Vol. 26, Diffusion in Solids Metals an Alloys. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1990)
Langbein, Werner: Thermodynamik: Grundlagen und Anwendungen. Harri Deutsch, Thun, Frankfurt am Main (1997)
Lau, John H. (ed.): Thermal Stress and Strain in Microelectronics packaging. Van Nostrand Reinhold, New York (1993)
Neumaier, Arnold: Molecular modeling of proteins and mathematical prediction of protein structure. SIAM Review, Vol. 39 (1997) p. 407–460
Nye, J. F.: Physical properties of crystals: Their Representation by Tensors and Matrices. Clarendon Press, Oxford, Reprint (1995)
Prutton, Martin: Introduction to Surlace Physics. Clarendon Press, Oxford (1994)
Raabe, Dierk: Computational material science: the simulation of materials, microstructures and properties. Wiley-VCH, Weinheim, New York, Chichester (1998)
Ragué Schleyer, Paul von (ed.): Encyclopedia of Computational Chemistry. John Wiley Sons, New York, Chichester, Brisbane (1998)
Seraphim, Donald P.; Lasky, Ronald C.; Li, Che-Yu (eds.): Principles of electronic packaging. McGraw Hill, New York, St. Louis, San Francisco (1989)
Stierstadt, Klaus: Physik der Materie. VCH, Weinheim, Basel, Cambridge (1989)
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Kasper, M. (2000). Werkstoffe der Mikrosystemtechnik. In: Mikrosystementwurf. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7_3
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