Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik

Zusammenfassung

Die Anwendungsbereiche der Reinraumtechnik sind vielgestaltig und nehmen beständig zu. Die Bedeutung kontrolliert reiner Umgebungen erkannten zuerst Mediziner wie Semmelweis und Lister. Die Umsetzung ihrer Hygienemaßnahmen in Krankenhäusern und Operationssälen schlug sich in drastisch niedrigeren Mortalitätsraten der Patienten nieder. Die Anerkennung ihrer Arbeit führte in der Wissenschaft dazu, die Gefahren „unsichtbarer“ Kontaminationen ernst zu nehmen und zu erforschen, um diesen gezielt entgegenwirken zu können. Aus diesen Ansätzen heraus entwickelte sich schließlich auch die Reinraumtechnik, um schädigende Partikel in der Umgebungsluft durch Raumlufttechnik auf ein unkritisches Niveau zu reduzieren. Weiterentwickelt und perfektioniert wurde diese Technik zunächst im Bereich der Raumfahrt durch die Entwicklung von Reinräumen mit einer turbulenzarmen Verdrängungsströmung (Gail L, Hortig H-P (Hrsg) (2004) Reinraumtechnik, 2.Aufl. Springer, Berlin). Danach erkannte die damals noch junge Halbleiterindustrie den Nutzen solcher hochreinen Produktionsumgebungen für ihre Produkte. Die Halbleiterindustrie zusammen mit der pharmazeutischen Industrie beansprucht noch heute die technologische und wirtschaftliche Führerschaft in der Nutzung von Reinräumen und sorgt damit beständig für die Weiterentwicklung der Reinraumtechnik hinsichtlich der Kontaminationskontrolle. So müssen in der Halbleiterindustrie mittlerweile neben Partikeln im Submikrometer-Bereich auch Ausgasungsprodukte, also Atome und Moleküle bestimmter Stoffgruppen, beherrscht werden, um eine kontaminationsbedingte Beeinträchtigung des Produkts zu verhindern.