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Berechnung und Regelung von Vakuumsystemen

  • Karl Jousten
  • Uwe Meissner
Living reference work entry
Part of the Springer Reference Technik book series (SRT)

Zusammenfassung

Im ersten Teil dieses Kapitels wird ein Überblick über die elektronischen Steuerungssysteme für Vakuumprozesse gegeben. Im zweiten Teil wird zusammengefasst, wie Vakuumsysteme berechnet werden können, wobei die Grundlagen in den Kapiteln Kap. „Strömung von Gasen: Charakterisierungen und Definitionen“ bis Kap. „Strömung von Gasen durch Rohre und Blenden“ gelegt wurden. Es werden Berechnungsmethoden mit starken Vereinfachungen angegeben, die aber in der Regel für praktische Zwecke genügen.

Schlüsselwörter

Vakuummprozessüberwachung Feldbus Prozessdaten Berechnung von Vakuumsystemen Netzwerkanalogie 

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Copyright information

© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH 2017

Authors and Affiliations

  1. 1.Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)BerlinDeutschland
  2. 2.MKS InstrumentsDresdenDeutschland

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