Determination of optical properties of SnO₂ films

Summary

The optical properties of conductive transparent thin films of undoped SnO₂, prepared by using magnetron supttering, were studied by measuring the transmittance and the reflectance between λ=0.25 μm and λ=3μm. The extracted optical constants are interpreted to give values of a direct band gap of the order of 4 eV and of an indirect band gap of the order of 3 eV. Typical SnO₂ films transmit ≈85% of visible light, have sheet resistanceR _∂ (100÷800) Ω_∂ and resistivities of (2.4·10⁻³÷1.8·10⁻²) Ω cm.

Riassunto

Mediante la misura dei valori di transmittanza e di riflettanza per lunghezze d'onda comprese fra 0.25 μm e 3 μm, sono state studiate le proprietà ottiche di film sottili (trasparenti e conduttivi) di SnO₂ non drogato, preparati mediante sputtering. Dai valori così ottenuti sono stati ricavati valori del gap diretto dell'ordine di 4 eV e di quello indiretto dell'ordine di 3 eV. Un film di SnO₂ presenta tipicamente valori della transmittanza intorno all'85%, per luce visibile,R _∂ intorno ai (100÷800) Ω_∂ e resistività fra 2.4·10⁻³ e 1.8·10⁻² Ω cm.

Резюме

Пзмеряя величины пропускания и отражения в области длин волн между λ=0.25 мкм и λ=3 мкм, исследуются оптические свойства проводящих прозрачных тонких пленок нелегированного SnO₂, приготовленных с помощью напыления. Из полученных оптических постоянных извлекаются значения прямой щели, порядка 4 эВ, и непрямой щели, порядка 3 эВ. Типичные пленки SnO₂ пропускают ∼85% видимого света, имеют сопротивлениеR _∂ (100÷800) Ω_∂ и удельные сопротивления в области (2.4·10⁻³÷1.8·10⁻²) Ом·см.