Zusammenfassung
Das für ionenausgelöste Elektronen gebaute Oberflächenmikroskop wird so umgestaltet, daß anstelle der Ionenquelle eine Elektronenquelle tritt. Mit 15 keV Energie auf die Metalloberfläche einfallende Elektronen lösen Sekundärelektronen aus. Mittels eines elektrostatischen Immersionsobjektives mit hoher Feldstärke vor der Kathode und scharfer Aperturbegrenzung in der Brennebene des Objektives werden Bilder von Metalloberflächen erzeugt. Es wird eine Auflösungsgrenze von 1000 Å erreicht. Die mit Sekundärelektronen bei einem Vakuum von 10−4 Torr aufgenommenen Bilder stehen denen mit ionenausgelösten Elektronen in der Plastik nicht nach, jedoch erreichen sie hinsichtlich der Auflösung und der Materialdifferenzierung nicht deren volle Qualität.
This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.
Author information
Authors and Affiliations
Additional information
Langsame Primär-Elektronen siehe:Lan Yu Huang, Z. Physik149, 225 (1957). W.Hubig: Optik (im Druck). -Bartz, G., u. G.Weissenberg: Naturwiss.44, 229 (1957).
Herrn Professor Dr. G.Möllenstedt verdanke ich Anregung und Förderung dieser Arbeit.
Der Deutschen Forschungsgemeinschaft danke ich für die freundliche Unterstützung. Ferner wurde die Arbeit mit Mitteln durchgeführt, die dem Inhaber des Lehrstuhls für Experimentelle und Angewandte Physik von der Research Corporation, New York, zur Verfügung gestellt wurden.
Rights and permissions
About this article
Cite this article
Bayh, W. Emissionsmikroskopie mit Sekundärelektronen (15 keV-Primärelektronen). Z. Physik 150, 10–15 (1958). https://doi.org/10.1007/BF01338507
Received:
Issue Date:
DOI: https://doi.org/10.1007/BF01338507