Das Auflösungsvermögen des Feldelektronenmikroskops

Zusammenfassung

Die Bildunschärfe des Feldelektronenmikroskops wird wesentlich durch die Verteilungsbreite der Elektronengeschwindigkeit bestimmt. Mit Hilfe des Emissionsgesetzes kann der Krümmungsradius der Kathodenspitze sowie die Lateralvergrößerung berechnet werden, womit unter Berücksichtigung der bekannten Geschwindigkeitsverteilung der Feldelektronen das Auflösungsvermögen anzugeben ist. Bei sehr starken Vergrößerungen bzw. kleinen Krümmungsradien der Kathode macht sich zusätzlich der Einfluß der Beugung bemerkbar. Vergleiche mit experimentellen Ergebnissen bestätigen die Berechnungen. Das höchste zur Zeit erreichbare Auflösungsvermögen von etwa 10 å ist aber nicht durch die vorgenannten Erscheinungen begrenzt, sondern durch die Unvollkommenheiten der Kathodenoberfläche.