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Untersuchungen an dünnen Schichten

  • Lothar Spieß
  • Gerd Teichert
  • Robert Schwarzer
  • Herfried Behnken
  • Christoph Genzel

Bei der Untersuchung von dünnen Schichten liegt weniger kristallines Material vor als bei der üblichen Pulverdiffraktometrie. So übersteigt die Eindringtiefe der Röntgenstrahlung bei dünnen Schichten deren Schichtdicke um ein Vielfaches. Damit ist das »Angebot an beugungsfähigen Körnern« stark eingeschränkt. Je nach Schichtart, d. h. amorph, polykristallin, einkristallin oder epitaktisch sind jeweils andere Betonungen auf die Untersuchungsanordnung und Messstrategie des Beugungsexperimentes zu legen. Eine Sammlung von Anwendungen und Darstellungen für Schichten sind in [144] zusammengefasst.

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Copyright information

© Vieweg+Teubner | GWV Fachverlage GmbH 2009

Authors and Affiliations

  • Lothar Spieß
  • Gerd Teichert
  • Robert Schwarzer
  • Herfried Behnken
  • Christoph Genzel

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