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Mikrotechnik und die Tribologie von MEMS

  • Horst Czichos
  • Karl-Heinz Habig
Chapter
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Zusammenfassung

Die heutige Technik ist durch Mechatronik, d. h. das interdisziplinäre Zusammenwirken von Mechanik, Elektronik, Informatik und einen stetigen Trend zur Miniaturisierung gekennzeichnet. Die Mikrotechnik nutzt Effekte, die erst durch Miniaturisierung möglich werden – z. B. geringere thermische Trägheit, veränderte Volumen/Oberflächen-Relationen – und vereint mit Bauteilabmessungen im mm/μm-Bereich Funktionalitäten aus Mikromechanik, Mikrofluidik, Mikroelektronik, Mikromagnetik, Mikrooptik. MEMS sind mikro-elektro-mechanische Systeme (Micro Electro-Mechanical Systems) für Bewegungsfunktionen. Da ihre miniaturisierten Bauteile tribologischen Beanspruchungen ausgesetzt sein können, ist die Tribologie von MEMS wichtig für ihre Funktionalität.

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Kapitel 13

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Copyright information

© Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH 2010

Authors and Affiliations

  • Horst Czichos
  • Karl-Heinz Habig

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