Zusammenfassung
Die Produktion von integrierten Schaltungen mit einigen Tausend bis mehreren Millionen Transistoren erfordert absolute Sauberkeit, da jede Verunreinigung zu einer Veränderung der Struktur der Scheibenoberfläche bzw. der Dotierungs- und Ladungsverhältnisse im Kristall führt. Diese wirken sich negativ auf die Ausbeute an funktionsfähigen Elementen sowie die Zuverlässigkeit und Lanzeitstabilität der Schaltungen aus.
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© 1996 B. G. Teubner Stuttgart
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Hilleringmann, U. (1996). Scheibenreinigung. In: Silizium-Halbleitertechnologie. Teubner Studienskripten (TSS). Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3_9
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3_9
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden
Print ISBN: 978-3-519-00149-2
Online ISBN: 978-3-663-05853-3
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