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Dotiertechniken

  • Ulrich Hilleringmann
Part of the Teubner Studienskripten (TSS) book series (TSTT)

Zusammenfassung

Mikroelektronische Schaltungselemente bestehen aus lokal unterschiedlich dotierten Bereichen eines Kristalles, d. h. in den Kristall werden im Verlauf der Herstellung gezielt Dotierstoffe eingebracht, die zu einer Verstärkung oder Umkehrung der Substratdotierung führen. Die Dotierung ändert die elektrischen Eigenschaften des Siliziums. Je nachdem, ob Akzeptoren oder Donatoren zugesetzt werden, wird das Halbleitermaterial p- oder n-leitend. Akzeptoren sind Elemente der dritten, Donatoren Elemente der fünften Hauptgruppe des Periodensystems.

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Copyright information

© B. G. Teubner Stuttgart 1996

Authors and Affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Universität DortmundDeutschland

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