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Herstellung von Siliziumscheiben

  • Ulrich Hilleringmann
Part of the Teubner Studienskripten (TSS) book series (TSTT)

Zusammenfassung

Als Material für Halbleiterbauelemente und integrierte Schaltungen spielt das Element Silizium die wichtigste Rolle: Mikroprozessoren, Speicherchips und Logikschaltungen sowie die anwendungsspezifischen Schaltkreise werden nahezu ausschließlich im Siliziumsubstrat hergestellt. Auch die Leistungshalbleiter wie Thyristoren und ein großer Teil der Einzeltransistoren bzw. Dioden sind aus diesem Element gefertigt.

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Copyright information

© B. G. Teubner Stuttgart 1996

Authors and Affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Universität DortmundDeutschland

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