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Einleitung

  • Ulrich Hilleringmann
Part of the Teubner Studienskripten (TSS) book series (TSTT)

Zusammenfassung

Die Entwicklung der Mikroelektronik — von den ersten integrierten Schaltungen bis hin zu Speicherbausteinen mit einer Kapazität von 64 bzw. 256 Mbit/Chip — demonstriert die Leistungsfähigkeit der Halbleitertechnologie in eindrucksvoller Weise. Strukturgrößen von 350 nm Weite, die noch vor wenigen Jahren mit optischer Lithografietechnik als unerreichbar galten, werden zur Zeit in der Produktion eingesetzt. Ein Ende der Miniaturisierung ist nicht absehbar.

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Copyright information

© B. G. Teubner Stuttgart 1996

Authors and Affiliations

  • Ulrich Hilleringmann
    • 1
  1. 1.Universität DortmundDeutschland

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