Ziel
Bei analytischen Untersuchungen im Transmissionselektronenmikroskop ist im Interesse einer hohen räumlichen Auflösung ein nanoskaliges Anregungsgebiet erwünscht. Die Elektronenoptik des Beleuchtungssystems eines TEM (Kondensorsystem und Teil des Objektivfeldes vor dem Objekt) ist in der Lage, den Elektronenstrahl sehr fein zu fokussieren und damit Elektronensondendurchmesser von weniger als 0,1 nm in der Probenebene zu erzeugen. Ablenksysteme ermöglichen das Rastern dieser feinen Elektronensonde auf der Probe, analog zu dem aus der konventionellen Rasterelektronenmikroskopie bekannten Verfahren. Ähnlich wie beim Namen „Transmission Electron Microscope oder Microscopy – TEM“ hat sich auch für diese Methode ein Kürzel eingebürgert, dessen Ursprung in der englischen Bezeichnung liegt: „STEM“. Es steht für „Scanning Transmission Electron Microscope oder Microscopy“.
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Notes
- 1.
- 2.
Walter Schottky, deutscher Physiker, 1886–1976.
- 3.
Carl Friedrich Gauß, deutscher Mathematiker und Physiker, 1777–1855.
- 4.
Vasco Ronchi, italienischer Physiker (Optik), 1897–1988.
- 5.
Amedeo Avogadro, italienischer Mathematiker und Physiker, 1776–1856.
Literatur
von Ardenne, M.: Das Elektronen-Rastermikroskop. Theoretische Grundlagen, Zeitschrift für Physik 109(9–10), 553–572 (1938)
Crewe, A.V., Wall, J., Welter, L.M.: A High-Resolution Scanning Transmission Electron Microscope. J. Appl. Phys. 39(13), 5861–5868 (1968)
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Joy, D.C.: Monte Carlo Modeling for Electron Microscopy and Microanalysis. Oxford University Press, New York, Oxford (1995)
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Thomas, J., Gemming, T. (2023). Wir schalten um auf Rastertransmissionselektronenmikroskopie. In: Analytische Transmissionselektronenmikroskopie. Springer Spektrum, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-66723-1_8
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Publisher Name: Springer Spektrum, Berlin, Heidelberg
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