Ziel
Wenn in diesem Buch vom Elektronenmikroskop geschrieben wird, dann ist damit immer das Transmissionselektronenmikroskop gemeint und nicht das Rasterelektronenmikroskop. Damit geht es um ein Mikroskop im engeren Sinn, d. h. um ein Gerät, in dem ein Gegenstand, nämlich die zu untersuchende Probe, durchstrahlt und optisch abgebildet wird. Ungeachtet dessen kann in diesem Mikroskop der Elektronenstrahl auch auf die Probe fokussiert und gerastert werden (STEM – s. Kap. 8). Es bleibt aber bei der Durchstrahlung der Probe. Das Transmissionselektronenmikroskop ist im Prinzip wie ein (Durchstrahlungs-)Lichtmikroskop aufgebaut. Davon ausgehend werden wir uns in diesem Kapitel mit einigen elektronenoptischen Gesetzmäßigkeiten, Abbildungsfehlern und wichtigen Baugruppen des Elektronenmikroskops befassen.
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Notes
- 1.
Hendrik Antoon Lorentz, niederländischer Mathematiker und Physiker, 1853–1928, Nobelpreis für Physik 1902.
- 2.
Otto Scherzer, deutscher Physiker und Elektronenoptiker, 1909–1982.
- 3.
Carl Friedrich Gauß, deutscher Mathematiker und Physiker, 1777–1855.
- 4.
André-Marie Ampére, französischer Physiker, 1775–1836.
- 5.
Wolfgang Pauli, österreichischer Physiker, 1900–1958, Nobelpreis für Physik 1945.
- 6.
Enrico Fermi, italienisch/amerikanischer Physiker, 1901–1954, Nobelpreis für Physik 1938.
- 7.
Owen Willians Richardson, englischer Physiker, 1879–1959, Nobelpreis für Physik 1928.
- 8.
Ludwig Boltzmann, österreichischer Physiker, 1844–1906.
- 9.
Walter Schottky, deutscher Physiker, 1886–1976.
- 10.
Hans Boersch, deutscher Physiker, 1909–1986.
- 11.
Arthur Wehnelt, deutscher Physiker, 1871–1944.
- 12.
1939 eingeführt von E. Ruska und B. von Borries.
- 13.
August Köhler, deutscher Optiker, 1866–1948.
- 14.
Jean Peltier, französischer Physiker, 1785–1845. Der nach ihm benannte Effekt ist ein thermoelektrischer Effekt.
- 15.
Amedeo Avogadro, italienischer Mathematiker und Physiker, 1776–1856.
- 16.
James Clerk Maxwell, schottischer Physiker, 1831–1879.
- 17.
Robert Brown, schottischer Botaniker, 1773–1858.
- 18.
Marcello Pirani, deutscher Physiker, 1880–1968.
- 19.
Frans Michel Penning, niederländischer Physiker, 1894–1953.
Literatur
Scherzer, O.: Über einige Fehler von Elektronenlinsen. Z. Phys. 101, 593–603 (1936)
Haider, M., Müller, H., Uhlemann, S., Zach, J., Loebau, U., Hoeschen, R.: Prerequisites for a \( \rm C_C / C_S \)-corrected ultrahigh-resolution TEM. Ultramicroscopy 108, 167–178 (2008)
Boersch, H.: Experimentelle Bestimmung der Energieverteilung in thermisch ausgelösten Elektronenstrahlen. Z. Phys. 139, 115–146 (1954)
Bronsgeest, M.S., Barth, J.E., Schwind, G.A., Swanson, L.W., Kruit, P.: Extracting the Boersch effect contribution from experimental energy spread measurements for Schottky electron emitters. J. Vac. Sci. Technol. B25(6), 2049–2054 (2007)
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Thomas, J., Gemming, T. (2023). Was wir über den Aufbau eines Elektronenmikroskops und Elektronenoptik wissen sollten. In: Analytische Transmissionselektronenmikroskopie. Springer Spektrum, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-66723-1_2
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-66723-1_2
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Publisher Name: Springer Spektrum, Berlin, Heidelberg
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Online ISBN: 978-3-662-66723-1
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