Zusammenfassung
Im Röntgen-Mikro-Spektralanalysator werden die in einer Probe vorhandenen chemischen Elemente mit Hilfe der relativ linienarmen Röntgenemissionsspektren identifiziert. Diese entstehen beim Auftreffen elektromagnetisch fokussierter Primärelektronenstrahlung und werden mit Hilfe mehrerer fokussierender Spektrometer analysiert. In der Regel kommt man mit Strahlspannungen bis 50 kV aus. Angeregt werden Probenoberflächenbereiche mit einem Durchmesser von 0,2 bis 3000 μm.
Vortrag anläßlich des Kolloquiums über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse, Wien, 25. bis 27. Oktober 1966.
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Moenke, H. (1967). Vergleichende Betrachtung über Elektronenstrahl-Mikroanalyse und Laser-Mikro-Spektralanalyse. In: Zacherl, M.K. (eds) Drittes Kolloquium über metallkundliche Analyse mit besonderer Berücksichtigung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse Wien, 25. bis 27. Oktober 1966. Mikrochimica Acta. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-38498-5_10
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