Zusammenfassung
Mikrosystemtechnik (MST) beschreibt den kombinierten und abgestimmten Einsatz von Mikrotechniken und deren Integration über Systemkonzepte sowie Aufbau- und Verbindungstechniken zu Mikro-systemen, die z.B. als Sensoren oder Sensor-Aktor-Familien Eingang in Produkt- oder Prozeßinnovationen finden [1–1].
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© 1993 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Gronau, M., Hafkesbrink, J., Krause, M., Mokwa, W., Rospert, M. (1993). Technologische Innovationen durch Mikrosystemtechniken. In: Gronau, M., Hafkesbrink, J., Krause, M., Mokwa, W., Rospert, M. (eds) Technologien für Mikrosysteme. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-30512-6_1
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Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-540-62228-4
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