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Gasabgabe und Getterung

  • K. Diels
  • R. Jaeckel
Chapter
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Zusammenfassung

Da bei Drucken unterhalb 10−3 Torr die abzupumpenden Gasmengen von den im Vakuum befindlichen Oberflächen geliefert werden, sollen diese möglichst wenig Gas adsorbiert haben. Rauhe Oberflächen wirken sich sehr ungünstig aus. So vergrößert sich zum Beispiel die von der Oberfläche herkommende Gasmenge bei einer durch Aufspritzen hergestellten Kupferschicht um das Zwanzigfache gegenüber dem massiven Metall. Ebenfalls starke Gasabgaben zeigen sich bei angerostetem Material, poröser Keramik u. a. Fasergewebe und Asbest sind aus diesem Grunde im Hochvakuum möglichst nicht zu verwenden. Sehr ungünstig sind auch die mit Füllstoffen, z. B. Sägemehl gestreckten Phenolharze, die sonst vielfach als elektrische Isolierstoffe Verwendung finden.

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Literatur

  1. [1]
    Lannor.T-Böx.Nstein: 11W 774, Eg. Bd. I, 309, Eg. Bd. IIa 499, Eg. Bd. III a 715’Google Scholar
  2. [2]
    Margham, A E, u K A Kobe: Chem. Rev. 28, 519, 1941.CrossRefGoogle Scholar
  3. [3]
    Burrows, G., u. F. H. Preece: Journ. Appl. Chem. 3, 451, 1953.CrossRefGoogle Scholar
  4. [4]
    Oetjen, G. W., u. F. Gross: Chem. Ing. Techn. 26, 9, 1954.CrossRefGoogle Scholar
  5. [5]
    R. Jaeckelu. F. Gross: Forschungsbericht 404 des Wirtschafts-u. Verkehrs-ministeriums NRW, 1957.Google Scholar
  6. [6]
    F. Gross: Zs. f. angew. Phys, 9, 606; 1957.Google Scholar
  7. [7]
    LutherH., u. W. Hiemenz: Chem. Ing. Techn. 29. 530; 1957.CrossRefGoogle Scholar
  8. Dushman: Scientific Foundations of Vacuum Technique, New York und London 1949.Google Scholar
  9. Jaeckel: Kleinste Drucke, Berlin/Göttingen/Heidelberg: Springer 1950. STEYSKAL: Arbeitsverfahren und Stoffkunde der Hochvakuumtechnik, Mosbach/ Baden: Physik-Verlag 1955.Google Scholar
  10. Wagener, S.: Zeitschrift für angewandte Physik, VI, 433 (1954).Google Scholar
  11. Ehrke, L. F., u. Cu. M. Slack: Journal of Applied Physics, XI, 129 (1940).ADSCrossRefGoogle Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1958

Authors and Affiliations

  • K. Diels
    • 1
  • R. Jaeckel
    • 2
  1. 1.KölnDeutschland
  2. 2.BonnDeutschland

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