Zusammenfassung
Während die Luftfiltration im Bereich der Abgasreinigung dem Schutz der Umwelt dient, wird sie in der Reinraumtechnik zum Schutz des herzustellenden Produkts bzw. des Produktionspersonals angewendet. Die Luftfiltration ist der wichtigste verfahrenstechnische Vorgang innerhalb einer lüftungstechnischen Anlage in der Reinraumtechnik. Luftfilter in Form von Faserfiltern kommen heutzutage in verschiedenen Bereichen der Technik zum Einsatz. In Klimaanlagen werden sie als sog. Standardluftfilter zur Reinigung der Luft von Grob- und Feinstaub und damit gleichzeitig zum Schutz der nachfolgenden Geräte- bzw. Anlagenkomponenten eingesetzt. Im Bereich der Reinraumtechnik (z.B. Pharmazie, Medizin, Mikroelektronik etc.) werden zusätzlich Schwebstofffilter benötigt, welche die dort notwendigen hohen Luftreinheiten in den Reinräumen sicherstellen und als “Gleichrichter” für Laminar-Flow-Strömungen dienen.
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Preview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Literatur
Goldacker, R. et al.: Grundlagen textiler Herstellungsverfahren, Fachbuchverlag Leipzig, 1.Auflage, Leipzig, 1991
DIN EN 779: Partikel-Luftfilter für die allgemeine Raumlufttechnik, Berlin, 1994
DIN EN 1822, Teil 1: Schwebstoffliter (HEPA und ULPA), Klassifizierung, Leistungsprüfung, Kennzeichnung, 1998
ASHRAE Standard 52–76: Method of Testing Air-Cleaning Devices Used in General Ventilation for Removing Particulate Matter, American Society of Heating, Refrigerating and Air-Conditioning Engineers, Inc., Atlanta, 1976
EUROVENT 4/5: Prüfung von Luftfiltern für die Luft- und Klimatechnik, Europäisches Komitee der Hersteller von lufttechnischen und Trocknungsanlagen, Wien, 1980
DIN 24185, Teil 2: Prüfung von Luftfiltern für die allgemeine Raumlufttechnik, Filterklasseneinteilung, Kennzeichnung, Prüfung, Berlin, 1980
ASHRAE 52.2 P: Method of Testing General Ventilation Air-Cleaning Devices for Removal Efficiency by Particle Size, Proposed American National Standard, 1996
EUROVENT 4/9: Prüfung von Luftfiltern für die allgemeine Raumlufttechnik, Bestimmung des Fraktionsabscheidegrades, Europäisches Komitee der Hersteller von lufttechnischen und Trocknungsanlagen, Wien, 1992
DIN 24184: Typprüfung von Schwebstofflitern, 1974
DIN 24184, Teil 1: Typprüfung von Schwebstoffiltern, Prüfung mit Paraffinñlnebel als Prüfaerosol, 1990
DIN 24183, Teil 1, Entwurf: Bestimmung des Abscheidegrades von Schwebstoffiltern mit Partikelzählverfahren, Grundlagen, 1993
DIN 24183, Teil 2, Entwurf: Bestimmung des Abscheidegrades von Schwebstoffiltern mit Partikelzählverfahren, Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik, 1994
DIN 24183, Teil 3, Entwurf: Bestimmung des Abscheidegrades von Schwebstoffiltern mit Partikelzählverfahren, Prüfung des planen Filtermediums, 1994
DIN EN 1822, Teil 2: Schwebstoffilter (HEPA und ULPA), Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik, 1998
DIN EN 1822, Teil 3: Schwebstoffilter (HEPA und ULPA), Prüfung des planen Filtermediums, 1998
DIN 24183, Teil 4, Entwurf: Bestimmung des Abscheidegrades von Schwebstoffiltern mit Partikelzählverfahren, Leckprüfung des Filterelements, 1996
Frazer, R. A.: On the Motion of Circular Cylinders in a Viscous Fluid, Philosophical Transactions of the Royal Society of London, Vol. 225, Series A, 1926, pp. 93–130
Happel, J.: Viscous Flow Relative to Arrays of Cylinders, Journal of the American Institute of Chemical Engineers, Vol. 5, No. 2, 1959, pp. 174–177
Kuwabara, S.: The Forces experienced by Randomly Distributed Parallel Circular Cylinders or Spheres in a Viscous Flow at Small Reynolds Numbers, Journal of the Physical Society of Japan, Vol. 14, No. 4, 1959, pp. 527–532
Fñrster, B.: Ein neues Zellenmodell zur Bestimmung von Abscheidegrad und Druckverlust der in der Klimatechnik verwendeten Filtermedien, Dissertation GHS Essen, 1999
Brown, R.: Mikroskopische Beobachtungen über die im Pollen der Pflanzen enthaltenen Partikeln, und über das allgemeine Vorkommen activer Molecule in organischen und unorganischen Körpern, Annalen der Physik und Chemie, Bd. 14, S. 294–313, 1828
Einstein, A.: über die von der molekularkinetischen Theorie der Wärme geforderte Bewegung von in ruhenden Flüssigkeiten suspendierten Teilchen, Annalen der Physik, 4. Folge, Bd. 17, S. 549–560, 1905
Perrin, A. D.: Die Brownsche Bewegung und die wahre Existenz der Moleküle, Sonderausgabe der Kolloidchemischen Beihefte, Bd. 1, 1910
Kaufmann, A.: Die Faserstoffe für Atemschutzfilter — Wirkungsweise und Verbesserungsmöglichkeiten, VDI 80/20, S. 593–599, 1936
Muhr, W: Theoretische und Experimentelle Untersuchung der Partikelabscheidung in Faserfiltern durch Feld- und Trägheitskräfte, Dissertation TH Karlsruhe, 1976
Löffler, F.: Staubabscheiden, Georg Thieme Verlag, Stuttgart, 1988
Baumgartner, H.: Elektretfaserschichten für die Aerosolfiltration — Untersuchungen zum Faserladungszustand und zur Abscheidecharakteristik, Dissertation TH Karlsruhe, 1986
Pich, J.: Die Filtrationstheorie hochdisperser Aerosole, Staub-Reinhaltung der Luft, 25, S. 186–192, 1965
Lee, K. W: Filtration of Submicron Aerosols by Fibrous Filters, Ph. D., University of Minnesota, Microfilm No. 78–2688, 1977
Yeh, H.-C: A Fundamental Study of Aerosol Filtration by Fibrous Filters, Ph. D., University of Minnesota, 1972
Fuchs, N. A.; Kirsch, A. A.; Stechkina, I. B.: A Contribution on the Theory of Fibrous Filters, Faraday Symposia of the Chemical Society, No. 7 : Symposium on Fogs and Smokes, 28–30 March, 1973, pp. 143–156
Iberall, A. S.: Permeability of Glass Wool and other Highly Porous Media, Journal of Research of the National Bureau of Standards, Vol. 45, No. 5, RP (Research Paper) 2150, 1950, pp. 398–406
Ziemer, W.: Aerosolfiltration in mehrkomponenten Glasfaserfiltermedien, Dissertation TU Budapest, 1992
VDI 6022, Teil 1 und 2: Hygienische Anforderungen an Raumlufttechnische Anlagen, 1998/1999
Davies, C. N.: The Separation of Airborne Dust und Particles, Proc. Inst. Mech. Eng. (London), Sect. B, Vol. 1, 1952, pp. 185–198
Weiterführende Literatur
Cunningham, E.: On the Velocity of Steady Fall of Spherical Particles through Fluid Medium, Proc. of the Royal Society of London, Ser. A., Vol. 83, 1910, pp. 357–365
Prandtl, L. in Schlichting, H.: Grenzschicht — Theorie, 5. erweiterte und neubearbeitete Auflage, Verlag G. Braun, Karlsruhe, 1965
Schweers, E.: Einfluss der Filterstruktur auf das Filtrationsverhalten von Tiefenfiltern, Dissertation TH Karlsruhe, 1993
Chapter 7
Literatur
Williamson, M.C.: Energy Efficiency in Semiconductor Manufacturing: A Tool for Cost Savings and Pollution Prevention; Semiconductor Fabtech (8), ICG Publishing London 1996, S. 77–82
Renz, M.; Honold A.: Saving Energy with Advanced Cleanroom Air Recirculation Systems; Semiconductor Fabtech (2), ICG Publishing London 1995, S. 89–93.
Gräber, H.; Tegtmeyer, G.: Siemens’ NTS Facility: a World First; Future Fab International (3), Technology Publishing London 1997, S. 107–114
Mcintosh, S.: MOS4You — A Record Breaking Fab; Future Fab International (3), Technology Publishing London 1997, S. 123–128
Shu, C.Y.; Tseng, EC; Tu, L.C.; Wieme, K.C.r: Advanced Integrated Circuit Manufacturing Plant Utilizing a Controlled Micro-Environment; Semicon Europa 91, Technical Conference 6.3.91, S. 178
Gall H.; Eissler, W: Minienvironments and SMIF Installation in a 4 Mbit DRAM Production Line; Semiconductor Fabtech (2), ICG Publishing London 1995, S. 69–72
Ang, K.C.; Low, T.H.; Ong, D.; Abuzeid, S.: The Role of SMIF-Integrated Minienvironments in Next-Generation Fabs; Semiconductor Fabtech (2), ICG Publishing London 1995, S. 75–77
Csatary, P., Nolan, D.; Wolf, P.; Honold, A.: 300 mm Fab Layout and Automation Concepts; Future Fab International (5), Technology Publishing London 1998, S. 37–41
Patentschrift DE 43 28 995
Patentschrift DE 195 111 58
Renz, M.; Filipovic, A.; Kümmerle, K.: Advances in Cleanroom Air Management Systems; 1999 European Contamination Control Conference, München, 15.4.1999.
GMP Volume 4, Annex 1 (1997)
Guideline on Sterile Drug Products Produced by Aseptic Processing; FDA 1987
Weiterführende Literatur
Harper, N: SMIF and Minienvironment Technology — The Reality; Future Fab International (3), Technology Publishing London 1997, S. 99–104
Renz, M.: Cleanroom Concepts for the Semiconductor Industry; R3-symposium Kristian- sand, 1998
Wells, T.; T. Brania: Siemens North Tyneside: “64 Mega Mods” Fast Track Development in a Dynamic Market; Future Fab International (7), Technology Publishing London 1999, S. 111–118
Author information
Authors and Affiliations
Editor information
Editors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 2004 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
About this chapter
Cite this chapter
Gail, L., Hortig, HP. (2004). Luftfiltration. In: Gail, L., Hortig, HP. (eds) Reinraumtechnik. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-09732-8_6
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-09732-8_6
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-662-09733-5
Online ISBN: 978-3-662-09732-8
eBook Packages: Springer Book Archive