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Partikelmesstechnik

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Zusammenfassung

Der Schutz von Produkten vor der Kontamination durch Partikel gilt als eine zentrale Aufgabe der Reinraumtechnik. Da es dabei um Kontaminationseffekte weit unterhalb der visuellen Wahrnehmbarkeit geht, braucht es leistungsfähige Verfahren, um die Messgrñße „Partikelkontamination“ über den gesamten Bereich, den Anwender fordern, präzise zu bestimmen. Neben der Partikelhäufigkeit ist dabei die Grñße der Partikel, die sowohl das Transportverhalten wie auch die mñgliche Wirkung auf das Produkt beeinflusst, von entscheidender Bedeutung. Ferner kann es für die Ermittlung von Kontaminationsquellen von Interesse Scin, die Form und die chemische Natur der Partikel zu bestimmen (z.B. textile Fasern, Metallabrieb, flüssige Trñpfchen).

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004

Authors and Affiliations

  1. 1.Siemens Axiva GmbH & Co. KGFrankfurt/MainDeutschland
  2. 2.HattersheimDeutschland

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