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Physikalische Grundlagen gasgetragener partikulärer Kontaminationen

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Zusammenfassung

Viele der heutigen Produkte sind während ihrer Herstellung sehr empfindlich gegenüber Schad- bzw. Fremdstoffen in ihrer Umgebung. Diese Empfindlichkeit war und ist der Auslñser für die Entwicklung und die stetige Weiterentwicklung der sog. Reinen Technologien. Die Zielsetzung der Reinen Technologien ist es, die Schad- bzw. Fremdstoffe in der Reichweite der Produkte auf einen vorgegebenen Grenzwert zu reduzieren. Um diese Zielsetzung zu erreichen, sind die einzelnen Stoffstrñme im Reinraum zu betrachten.

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Literatur

  1. [3.1]
    Mittal, K. L. (1988): „Particles on Surfaces 1: Detection, Adhesion, and Removal“ Plenum, New York 1988Google Scholar
  2. [3.2]
    Mittal, K. L. (1990): „Particles on Surfaces 2: Detection, Adhesion, and Removal“ Plenum, New York 1990CrossRefGoogle Scholar
  3. [3.3]
    Springer, G. S. (1978): „Homogeneous nucleation“ Advances in Heat Transfer, 14, S. 281–346CrossRefGoogle Scholar
  4. [3.4]
    Waldmann, L. und Schmitt, K. H. (1966): „Thermophoresis and Diffusiophoresis of Aerosols“ Aerosol Science, Davies, C. N. (Editor), Academic Press, London, 1966Google Scholar
  5. [3.5]
    Allen, M. D. und Raabe, O. G. (1985): „Slip Correction Measurements of Spherical Solid Aerosol Particles in an Improved Millikan Apparatus“. Aerosol Science and Technology, 4, S. 269–286CrossRefGoogle Scholar
  6. Davies, C.N. (1966): „Aerosol Science“ Academic Press, 1966, LondonGoogle Scholar
  7. Davies, C.N. (1973); „Air Filtration“ Academic Press, London 1973Google Scholar
  8. Friedlander, S.K. (1977): „Smoke, dust, and haze“ A Wiley — Interscience publication, 1977, New YorkGoogle Scholar
  9. Fuchs, N.A. (1989): „The Mechanics of Aerosols“ Wiley, New York, 1989Google Scholar
  10. Hinds, WC. (1998): „Aerosol technology: properties, behavior, and measurement of airborne particles“ A Wiley — Interscience publication, 2 nd. Edition 1998, New YorkGoogle Scholar
  11. Liu, B.Y.H.; Pui, D.Y.H. und Fissan, H. (1984): „Aerosols:Science, Technology and Industrial Applications of Airborne Particles“ Elsevier, New York 1984Google Scholar
  12. Mittal, K.L. Ed. (1991): “Particles on Surfaces 3: Detection, Adhesion, and Removal“ Plenum, New York 1991Google Scholar
  13. Mittal, K.L. Ed. (1995): “Particles on Surfaces: Detection, Adhesion, and Removal“ Marcel Dekker, New York 1995Google Scholar
  14. Mittal, K.L. Ed. (1999): “Particles on Surfaces 5&6: Detection, Adhesion, and Removal“ VSP, Utrecht 1999Google Scholar
  15. Mittal, K.L. Ed. (2002): “Particles on Surfaces 7: Detection, Adhesion, and Removal“ VSP, Utrecht 2002Google Scholar
  16. Willeke, K. und Baron, P.A. (2001): “Aerosol measurement: principles, techniques, and applications“ A Wiley — Interscience publication, 2 nd. Edition 2001, New YorkGoogle Scholar
  17. Reist, P. (1984): „Introduction to aerosol science“ Macmillan Publishing Company, 1984, New YorkGoogle Scholar
  18. Willeke, K. und Baron, P.A. (1992): „Aerosol measurement: principles, techniques, and applications“ Van Nostrand Reinhold, 1992, New YorkGoogle Scholar
  19. Willeke, K. und Baron, P. A. (2001): “Aerosol measurement: principles, techniques, and applications“ A Wiley — Interscience publication, 2 nd. Edition 2001, New YorkGoogle Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004

Authors and Affiliations

  1. 1.Siemens Axiva GmbH & Co. KGFrankfurt/MainDeutschland
  2. 2.HattersheimDeutschland

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