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Automation für den Reinraumbetrieb: Erfordernisse und Lösungen für ein übergeordnetes Informations- und Managementsystem

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Zusammenfassung

Der Aufwand für die Steuerung und den Nachweis der Produktqualität nimmt ständig zu. In der Vergangenheit zielte die Reinraumtechnik, was die Quelle der Verunreinigungen betrifft, noch primär auf die Kontrolle der Kontamination durch luftgetragene Partikel ab.

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004

Authors and Affiliations

  1. 1.Siemens Axiva GmbH & Co. KGFrankfurt/MainDeutschland
  2. 2.HattersheimDeutschland

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