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Messtechnik

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Zusammenfassung

Die Qualität von Reinräumen wird durch eine Mehrzahl von Messgrñßen definiert, s.Abb. 14.1. Die entsprechenden produktrelevanten oder prozesskritischen Parameter sollten deshalb zusammen mit arbeitsplatzspezifischen Richtwerten und einem Hinweis auf gesetzliche Regelungen in der Planungsphase festgelegt werden (DIN ISO EN 14644–4 [14.1]).

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004

Authors and Affiliations

  1. 1.Siemens Axiva GmbH & Co. KGFrankfurt/MainDeutschland
  2. 2.HattersheimDeutschland

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