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Produktionsmittel-Prüfung auf Reinheitstauglichkeit

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Zusammenfassung

In einschlägigen Industriebranchen, wie der Lebensmittel-, Halbleiter-, Pharma-, Luft- und Raumfahrtindustrie, steigen die Anforderungen zu immer leistungsfähigeren Produkten stetig an. Bei der Produktion hochwertiger Produkte, einhergehend mit mñglichst geringen Ausfallraten, spielt der Kontaminationsgedanke eine zunehmend zentrale Rolle [13.1].

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Literatur

  1. [13.1]
    Dorner, J.: „Anwendungen der Reinraumtechnik außerhalb der Halbleiterherstellung und der Pharmazie — übersicht“ In: VDI-Berichte Nr. 919: Reinraumtechnik: Ausgewählte Lñsungen und Anwendungen. Düsseldorf: VDI, 1992, S. 223–231Google Scholar
  2. [13.2]
    Schließer J.: Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten. Berlin u.a.: Springer, 1998 (IPA-IAO Forschung und Praxis Bd. 281) Zugl. Stuttgart, Diss., 1998Google Scholar
  3. [13.3]
    Schließer, J.; Werner, D.; Ernst, C; Gaugel, T.; Güth, A.: „Der sichere Weg zur Qualitätsverbesserung“. GIT ReinRaumTechnik 1/99, Scite 16–19Google Scholar
  4. [13.4]
    Hauptmann, Hohmann: Handbuch der Reinraumpraxis: Reinraumtechnologie und Human-Resourcen. Ecomed Fachverlag Landsberg 1992Google Scholar
  5. [13.5]
    VDI-Richtlinie 2083 Blatt 1: Reinraumtechnik: Partikeleinheitsklassen der Luft. VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeeinrichtung, April 2002Google Scholar
  6. [13.6]
    DIN EN ISO 14644–1: 1999–07: Reinräume und zugehñrige Reinraumbereiche -Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit. Deutsches Institut für Normung e.V., Berlin, 1999Google Scholar
  7. [13.7]
    Schließer, J.; Ernst, C.; Gommel, U; Matuscheck, P:. „Qualifizierung von Betriebsmitteln für die Sauber- und Reinstfertigung“. GIT ReinRaumTechnik 1/99, Scite 10–15Google Scholar
  8. [13.8]
    Schließer, J.; Gommel, U: „Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln“; „Reinraumtechnik v 99“. VDI-Berichte 148, Scite 161–171: Düsseldorf, 1999Google Scholar
  9. [13.9]
    VDI-Richtlinie 2083 Blatt 8: Reinraumtechnik: Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln. VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeeinrichtung, Sept. 2002Google Scholar
  10. [13.10]
    IBM: Jessi Project Report AUTOWEC E 109, 1995Google Scholar
  11. [13.11]
    International Technology Roadmap for Semiconductors: 1999 edition. Semiconductor Industry Association (SIA), 1999.Google Scholar
  12. [13.12]
    IEC 61340–5–1:1998–12: Protection of electronic devices from electrostatic phenomena- General requirements, Genf, 1998Google Scholar
  13. [13.13]
    DIN EN 100 015–3: Schutz von elektrostatisch gefärdeten Bauelementen -Anforderungen an Reinräume. Deutsches Institut für Normung e.V., Berlin, 1993Google Scholar
  14. [13.14]
    Sachs L.: Statistische Auswertungsmethoden: Springer-Verlag, Berlin, 1968Google Scholar
  15. [13.15]
    Graf, Henning, Stange, Wilrich: Formeln und Tabellen der angewandten Mathematischen Statistik: Springer, Berlin, 1998Google Scholar
  16. [13.16]
    Papula, L.: Mathematik für Ingenieure und Naturwissenschaftler Band 3: Vieweg-Verlag Wiesbaden, 1997Google Scholar
  17. [13.17]
    Timischl, W: Qualitätssicherung: Carl Hanser Verlag München, 1995Google Scholar
  18. [13.18]
    Gränicher H.: Messung beendet was nun?: Hochschulverlag AG ETH Zürich, 1994Google Scholar
  19. [13.19]
    VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3 Entwurf: Reinraumtechnik: Messtechnik in der Raumluft. VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeeinrichtung, Februar 1993Google Scholar
  20. [13.20]
    Schließer, J.: Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen. IPA-Workshop: Fertigungstechnik im Reinraum — Messtechnisches Praktikum, Institutszentrum der Fraunhofer-Gesellschaft IZS, Stuttgart, 1998Google Scholar
  21. [13.21]
    Geisinger, J.: Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme. Berlin u.a.: Springer, 1989 (IPA-IAO Forschung und Praxis Bd. 141) Zugl. Stuttgart, Diss., 1989CrossRefGoogle Scholar
  22. [13.22]
    VDI-Richtlinie 2083 Blatt 4: Reinraumtechnik: Oberflächenreinheit, Düsseldorf, VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeeinrichtung, März 1993Google Scholar
  23. [13.23]
    IES-RP-CC-87-T:1987–05: Cleanroom Gloves and Finger Cots; Mount Prospect; 1987Google Scholar
  24. [13.24]
    Ernst, C.; Naffin, F.; Matuscheck, R: „Messtechnik in der Sauber- und Reinstfertigung“ GIT Labor-Fachzeitschrift 3/13.99, Scite 278–283Google Scholar
  25. [13.25]
    Grimme, R.; Rochowicz, M.: „Oberflächen-Partikelmesstechnik“; „Reinraumtechnik ‘99“.VDI-Berichte 148, Scite 17–20: Düsseldorf, 1999Google Scholar
  26. [13.26]
    Kaun, R.: „Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen“ Berlin u.a.: Springer, 1997 (IPA-IAO Forschung und Praxis Bd. 253) Zugl. Stuttgart, Diss., 1997CrossRefGoogle Scholar

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© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004

Authors and Affiliations

  1. 1.Siemens Axiva GmbH & Co. KGFrankfurt/MainDeutschland
  2. 2.HattersheimDeutschland

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