Skip to main content

Ionenstrahlsysteme

  • Chapter
  • 178 Accesses

Zusammenfassung

Bisher wurden Verfahren betrachtet, bei denen die Anregungselektrode sich direkt im Geschehen befand, sowohl bei den Sputter- wie bei den Ätzverfahren. Von einer ganz anderen Seite kommt das Ionenstrahlverfahren: Bei der NASA wurde Ende der 1950iger Jahre an der Entwicklung von Ionentriebwerken gearbeitet [404] [405], um Flüge in den interplanetarischen Raum zu ermöglichen. Diese Systeme wurden zur Erzeugung einer möglichst hohen Schubkraft optimiert. Die Treibstoffe sollten hohes Atomgewicht und damit großen Impuls bei gleicher Leistung, niedriges Ionisierungspotential zur Erzeugung einer hohen Ionendichte aufweisen und wenig Korrosion verursachen (deswegen wurde meist mit Quecksilber anstelle von Cesium gearbeitet).

This is a preview of subscription content, log in via an institution.

Buying options

Chapter
USD   29.95
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
eBook
USD   54.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever

Tax calculation will be finalised at checkout

Purchases are for personal use only

Learn about institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Author information

Authors and Affiliations

Authors

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1994 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

About this chapter

Cite this chapter

Franz, G. (1994). Ionenstrahlsysteme. In: Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8_10

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8_10

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-662-08980-4

  • Online ISBN: 978-3-662-08979-8

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics