Messung der elastischen und unelastischen Streuverteilung mittelschneller (15–50-keV-) Elektronen mit Hilfe der Gegenfeldmethode

Zusammenfassung

Wenn man den gesamten Informationsgehalt eines Elektronen-Streudiagramms erfassen will, muß man sowohl die Winkel- als auch die Energieverteilung der gestreuten Elektronen messen. Eine hierfür geeignete Meßanordnung sollte darüber hinaus auch absolute Intensitätsmessungen gestatten. Für solche absoluten Intensitätsmessungen von Streuverteilungen mittelschneller Elektronen beim Durchgang durch dünne Festkörperschichten von 100–500 Å haben wir in unserem Institut eine Gegenfeldanlage aufgebaut. Das Schema dieser Apparatur ist in Abb. 1 dargestellt. Die Elektronen werden in einem üblichen Strahlerzeugungssystem auf 15-50 keV beschleunigt. Durch 2 Aperturblenden wird die Divergenz des Primärstrahles am Ort des Objektes auf 2 · 10⁻⁴ herabgesetzt. Aus der Elektronen-Streuverteilung wird durch einen feinen Spalt ein enges Strahlbündel ausgeblendet. Dieser Strahl durchläuft nun ein Gegenfeld. Die Elektronen, die das Bremspotential überwinden können, erreichen den Auffänger und werden mit einem Gleichstromverstärker gemessen. Durch Variation des Bremspotentials mit Hilfe einer Zusatzspannung ∆U _g erhält man die integrale Energieverteilung der Elektronen im ausgeblendeten Strahlbündel. Die Messung der Winkelverteilung bei festem Bremspotential erfolgt so, daß das gesamte Auffängersystem auf einem Kreisbogen um das Objekt als Zentrum geschwenkt wird. Synchron mit dieser Schwenkbewegung wird der Auffängerstrom photographisch registriert.