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Siliziumwafer – Basis der Chips

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Handbuch energiesparende Halbleiterbauelemente – Hochintegrierte Chips

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Zusammenfassung

Grundwerkstoff von Chips der gegenwärtigen Generation ist Silizium (Si). Silizium ist ein graues, sprödes, tetravalentes chemisches Element. Es macht 27,8 % der Erdkruste aus und ist neben Sauerstoff das häufigste Element in der Natur.

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Authors and Affiliations

  1. Esslingen am Neckar, Baden-Württemberg, Deutschland

    Hartmut Frey

  2. Stuttgart, Baden-Württemberg, Deutschland

    Engelbert Westkämper

  3. Forschungsfabrik Mikroelektronik, Langebrück, Deutschland

    Bernd Hintze

Authors
  1. Hartmut Frey
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  2. Engelbert Westkämper
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  3. Bernd Hintze
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Frey, H., Westkämper, E., Hintze, B. (2023). Siliziumwafer – Basis der Chips. In: Handbuch energiesparende Halbleiterbauelemente – Hochintegrierte Chips. Springer Vieweg, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-39346-5_4

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