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Elektronenmikroskopische Untersuchungs- und Präparationsmethoden pp 292–320Cite as

Grundlagen der Hochvakuum- und Aufdampftechnik

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Zusammenfassung

Für die elektronenmikroskopische Präparationstechnik — bei der Herstellung von Trägerfolien und Schrägbeschattungen — spielt die Aufdampfmethode eine große Rolle. Es soll daher in diesem Abschnitt der prinzipielle Aufbau von Verdampfungsapparaturen beschrieben und auf die Wahl geeigneter Verdampfungsquellen eingegangen werden.

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Literatur zu § 14

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  1. Universität Münster i. W., Deutschland

    Dr. Ludwig Reimer (apl. Professor)

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Reimer, L. (1967). Grundlagen der Hochvakuum- und Aufdampftechnik. In: Elektronenmikroskopische Untersuchungs- und Präparationsmethoden. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-86557-2_14

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