Zusammenfassung
Laser Interferometer werden in weiten Bereichen der hochpräzisen dimensionellen Meßtechnik und zum Vermessen von Werkzeugmaschinen eingesetzt. Die Genauigkeit solcher Meßsysteme ist weitgehend durch die Unsicherheit des Brechungsindex der umgebenden Luft begrenzt. Dieser Bericht skizziert die bisher bekannten Techniken und diskutiert die Vorzüge neuerer Methoden.
Abstract
Laser interferometers are widely used for precise dimensional measurements and for the calibration of tooling machines. The accuracy of these, systems is mainly limited by the uncertainty of the refractive index of the surrounding medium. This paper gives a short survey of prior art techniques and describes the advantages of newly developped methods.
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Meiser, HP., Frerking, D., Frölich, D. (1992). Absolute Laserrefractometer. In: Waidelich, W. (eds) Laser in der Technik / Laser in Engineering. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-84736-3_15
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-84736-3_15
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