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Untersuchung der Gebrauchseigenschaften von Stahlbauteilen, die mit Titanoxicarbonitrid mittels Plasma-CVD-Technik bei Temperaturen unter 550ºC beschichtet wurden

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TRIBOLOGIE: Reibung · Verschleiß · Schmierung

  • 346 Accesses

Zusammenfassung

Es wird die Abscheidung von harten verschleiβfesten Schichten mit dem Plasma-CVD-Verfahren beschrieben. Dazu wurde eine herkommliche Plasma-Nitrieranlage mit der Gasversorgung einer CVDAnlage erweitert. Unter Verwendung von Titantetrachlorid als Titanspendermedium wurden Titannitridschichten erhalten. Schichtaufbau und -zusammensetzung wurden in Abhängigkeit von den Verfahrensparametern untersucht und die Härte der Schichten (nach Vickers) sowie die kritische Last (im Ritztest) bestimmt. Unter Verwendung von Titantetraisopropylat konnten halogenfreie Hartstoffschichten vom Typ Ti(O,C,N) erhalten werden. Diese Schichten zeigen trotz ihres Sauerstoffgehaltes die gleiche kubische Kristallstruktur wie die bekannten TiN- oder TiC-Schichten. Auch hier wurden Zusammensetzung, Struktur und Morphologie in Abhängigkeit von den Verfahrensparametern bestimmt. Neben der Bestimmung der mechanischen Eigenschaften wurden Verschleiβ- und Korrosionstests an den Schichten durchgeführt.

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Authors and Affiliations

  1. Stiftung lnstitut für Werkstofftechnik, Bremen, Germany

    Dr. Heinz-Rolf Stock & Prof. Dr.-lng. Peter Mayr

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  1. Dr. Heinz-Rolf Stock
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  2. Prof. Dr.-lng. Peter Mayr
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Editors and Affiliations

  1. Projektbevollmächtigter in der Projektleitung Material- und Rohstofforschung, der Kernforschungsanlage Jülich GmbH, Deutschland

    Reinhard Günther

  2. Wissenschaftlicher Mitarbeiter der Projektleitung Material- und Rohstofforschung, der Kernforschungsanlage Jülich GmbH, Deutschland

    Hermann Haag

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© 1988 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

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Stock, HR., Mayr, P. (1988). Untersuchung der Gebrauchseigenschaften von Stahlbauteilen, die mit Titanoxicarbonitrid mittels Plasma-CVD-Technik bei Temperaturen unter 550ºC beschichtet wurden. In: Günther, R., Haag, H. (eds) TRIBOLOGIE: Reibung · Verschleiß · Schmierung. Dokumentation zum Forschungs- und Entwicklungsprogramm des Bundesministeriums für Forschung und Technologie (BMFT), vol 12. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-83558-2_11

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  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

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  • Online ISBN: 978-3-642-83558-2

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