Auswertemethoden rasterelektronenmikroskopischer Aufnahmen

Zusammenfassung

Aus Stereo-Bildpaaren läßt sich das dreidimensionale Oberfläehenrelief der Probe rekonstruieren. Man hat zu berücksichtigen, daß bei geringen Vergrößerungen V<500 die SEM-Abbildung eine Zentralprojektion darstellt (Abb. 7.1b) mit Wals Abstand Probe-Projektionszentrum (Abb. 3.5) (w = WV). Wenn die Kantenlänge des abgerasterten Bereiches bedeutend kleiner als W ist (V>500), kann man von einer Parallelprojektion ausgehen, was die Auswerteformeln wesentlich vereinfacht. Ein linkes und rechtes Teilbild (Indices L, R) wird mit Neigungswinkeln Φ _L = Φ _c + α/2 und Φ _R = Φ _c - α/2 des Präparattellers erhalten (α=Kippwinkel zwischen den beiden Aufnahmen). In den Teilbildern mit den gleichen Vergrößerungen V betragen die Bildkoordinaten x _L, y _L bzw. x _R, y _R. Die y-Achse liegt parallel zur Stereo-Kippachse. Die Kippachse sollte so justiert sein, daß sie durch die Bildmitte geht und in mittlerer Objekthöhe liegt. Dann ist auf Grund der großen Schärfentiefe der SEM-Abbildung keine Nachstellung des Linsenstromes erforderlich, so daß für die beiden Teilbilder mit gleichem w und V gerechnet werden kann. X, Y, Z sei ein auf das Objekt bezogenes Koordinatensystem, welches entweder mit der X, Y-Ebene senkrecht zur optischen Achse liegt oder eine X _s , Y _s -Ebene parallel zur Objekttellerfläche (Index s) aufweist. Letzteres ist für relativ ebene, geneigte Flächen, z. B. bearbeitete Metallflächen, von Interesse, da dann nicht die Z-Koordinate bei einer geneigten Probe vom linken zum rechten Bildrand kontinuierlich zunimmt.