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Industrielle Nutzung der Röntgenstrahlung für die Mikrosystemtechnik

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Forschung mit Röntgenstrahlen
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Zusammenfassung

Einst ein unerwünschter Nebeneffekt bei der Beschleunigung geladener relativistischer Teilchen, hat sich die Synchrotronstrahlung heute zu einem unverzichtbaren Mittel zur Oberflächenanalyse, zur Spektroskopie und schließlich zur Fertigung von Komponenten der Mikrosystemtechnik herausgebildet. Wenn das Synchrotron auch im Prinzip das ganze Spektrum der elektromagnetischen Strahlung liefert, ist doch der kurzwellige Anteil des Spektrums von besonderem wissenschaftlichen und industriellen Interesse. Qualitätsfaktoren wie Divergenz der Strahlung, Leuchtdichte und Polarisationsgrad werden von keiner anderen Röntgenstrahlquelle auch nur annähernd erreicht.

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Menz, W., Mohr, J. (1995). Industrielle Nutzung der Röntgenstrahlung für die Mikrosystemtechnik. In: Heuck, F.H.W., Macherauch, E. (eds) Forschung mit Röntgenstrahlen. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-78841-3_40

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