Zusammenfassung
Miniaturisierung bei gleichzeitiger Funktionsintegration ist weltweit ein zentrales Thema der Produktentwicklung in den unterschiedlichsten Anwendungsfeldern. Miniaturisierte Systeme umfassen Signalverarbeitung, Sensoren und/oder Aktoren auf kleinstem Raum. Durch die hohe Integrationsdichte werden funktionale und/oder kostenmäßige Vorteile erreicht. Ist das Gesamtsystem mit mikrotechnischen Methoden hergestellt oder haben wesentliche Strukturelemente Abmessungen im μm-Bereich spricht man auch von Mikro-systemen.
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Hesselbach, J. (2000). Montage miniaturisierter Bauteile. In: FTK 2000. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-59804-3_11
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