Zusammenfassung
Unter dem Begriff PVD werden Beschichtungsverfahren verstanden, mit denen Metalle, Legierungen oder chemische Verbindungen durch Zufuhr thermischer Energie oder durch Teilchenbeschuß im Hochvakuum abgeschieden werden. Zu den PVD-Verfahren zählen:
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Aufdampfen im Hochvakuum,
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Ionenplattieren (ion plating),
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Katodenzerstäubung (sputtering).
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© 1995 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Kienel, G., Sommerkamp, P. (1995). Aufdampfen im Hochvakuum. In: Kienel, G., Röll, K. (eds) Vakuumbeschichtung. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57905-9_3
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