Zusammenfassung
Gängigste und genaueste Methode zur Ermittlung des elektrischen Schichtwiderstandes ist heute die Vier-Punkte-Meßtechnik, die an anderer Stelle in diesem Buch beschrieben wird. Als berührendes Verfahren ist sie jedoch zur in-situ-Analyse nicht geeignet. Hier bieten sich berührungslos arbeitende Techniken an, von denen das Wirbelstromverfahren weite Verbreitung in der Anwendung gefunden hat.
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© 1994 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Bartella, J., Benes, E., Herrmann, R., Kienel, G., Röll, K., Sommerkamp, P. (1994). Messungen an dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses. In: Kienel, G. (eds) Vakuumbeschichtung. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57904-2_2
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Print ISBN: 978-3-642-63511-3
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