Zusammenfassung
Vakuumbeschichtungsprozesse zeichnen sich durch besondere Reinheit in Bezug auf An-und Abwesenheit bestimmter Stoffe aus. Hinzu kommt häufig die Forderung nach höchster Partikelfreiheit in oder auf den Schichten. Ähnlich hohe Anforderungen stellt man an die Automatisierung dieser Anlagen, die folgendes gewährleisten soll:
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hohe Gleichmäßigkeit und Qualität der Beschichtungen
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gute Reproduzierbarkeit der Prozeßabläufe
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vielfache Wiederholung von Prozeßschritten bei Vielschichtbedampfung
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fehlerfreie, sichere und rationelle Bedienung der Anlagen.
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Birck, H., Moll, J. (1994). Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen. In: Kienel, G. (eds) Vakuumbeschichtung. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57904-2_1
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