Zusammenfassung
Nach einer historischen Einführung werden die physikalischen Grundlagen der Rasterelektronenmikroskopie abgehandelt. Daran schließt sich ein Kapitel zur Probenpräparation an, gefolgt von der Darstellung des Geräteauf-baus und der Betriebsweise eines Standard-Rasterelektronenmikroskops. Anschließend wird das Prinzip der analytischen Rasterelektronenmikroskopie besprochen. Im folgenden werden Möglichkeiten von in situ-Untersuchungen in der Rasterelektronenmikroskopie diskutiert. In einem abschließenden Abschnitt wird auf gegenwärtige Entwicklungstrends eingegangen.
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Literatur
De Bróglie L (1924) Thèses de doctorat, Masson u. Co, Paris
Busch H (1926) Annal Phys 81: 974
Stintzing H (1927) DRP 481: 155
Knoll M (1935) Z Techn Phys 16: 767
v. Arderme M (1937) Z Techn Phys 19: 407
Zworykin VK (1942) ASTM Bull 117: 15
Eberhart J (1991) Structural and Chemical Analysis of Materials. John Wiley, Chichester
Schmidt PF (1994) Praxis der Rasterelektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse. Expert-Verlag, Renningen
Wetzig K, Schulze D (1995) In situ Scanning Electron Microscopy in Materials Research. Akademie Verlag, Berlin
Johnson R (1996) Environmental Scanning Electron Microscopy. Robert Johnson Associates, El Dorado Hills.
Crewe AV (1970) Science 168: 1338
Reimer L (1985) Scanning Electron Microscopy. Springer, Berlin
Hauffe W (1995) Ion Bombardment Experiments. In: [9]
Nakamoto K, Uozumi K (1992) Ultramicroscopy 42: 1569
Reimer L, Pfefferkorn G (1973) Rasterelektronenmikroskopie. Springer, Berlin
Reimer L (1992) Proc. EUREM 92, Granada 1: 9
Langmuir DB (1937) Proc. IRE 25: 977
Wells OC (1974) Scanning Electron Microscopy. Mc Graw-Hill, New York
Everhart TE, Thornley, RFM (1960) J Sci Instr 37: 246
Wetzig K, Ullrich HJ (1980) In: Teubner W (ed) Industrielle Vakuumtechnik. Deutscher Verlag für Grundstoffind., Leipzig, chap. 6
Baecher I (1999) private communication
Wetzig K (1994) Fresenius J. Anal. Chem. 349: 64
Wetzig K, Edelmann J, Erler E (1978) Exp. Techn Phys 26: 589
Kúdela S, Wendrock H, Baunack S, Wetzig K (1998) Proc. DVM Tag., München 18:217
Wetzig K, Raith H (1990) Proc. DVM Tag., Berlin 14:91
Soppe WJ, Janssen GJM, Bonekamp BC, Correia LA, Veringa HJ (1994) J Mat Sci 29: 754
Menzel S, Hauffe W, Kadner J, Wetzig K (1996) Cryst. Res. Technol. 31: 469
Pompe W, Siemroth P, Müller H, Wetzig K, Weiss HJ (1992) J Phys D 25: 875
Arzt E, Kraft O, Spolenak R (1996) Z. Metallkunde 87: 934
Wetzig K, Buerke A, Wendrock H, v. Glasow A (1998) Proc. DVM Tag., München 18: 75
Hauffe W (1977) Patent DD 139670
Kirk ECG, McMahon RA, Cleaver JRA, Ahmed H (1988) J Vac Sci Techn. B6: 1940
Danilatos GD (1988) Advanc. Electr. and Electr. Phys. 71: 109
Dingley DJ (1984) Scanning Electron Micr. 2: 569
Schwarzer RA (1990) Textures and Microstructures 13:15
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Wetzig, K. (2000). Rasterelektronenmikroskopie. In: Günzler, H., et al. Analytiker-Taschenbuch. Analytiker-Taschenbuch, vol 21. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57180-0_3
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