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Mikroaktoren

  • Chapter
Mikrosystementwurf
  • 201 Accesses

Zusammenfassung

Aktoren (als Anglizismus gelegentlich auch als Aktuatoren bezeichnet) stellen Energiewandler dar, die eine in der Regel elektrische Energie in eine mechanische überführen. Zu den Aktorelementen gehören ebenfalls die EnergiesteIler (z. B. Leistungselektronik) und eventuell vorhandene Getriebe. Die enge Kopplung der elektromechanischen Energiewandlung und deren integrierte elektronische Ansteuerung wird durch das häufig in diesem Zusammenhang gebrauchten Kunstwort Mechatronik (Mechanik und Elektronik) zum Ausdruck gebracht [8].

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Literatur

  1. Ando, Yasuhisa; Ino, liro: Friction and pull-off force on silicon surface modified by FIB. Sensors and Actuators, A57 (1996) p. 83–89

    Google Scholar 

  2. Bhushan, Bharat (ed.): Handbook of Micro/ Nanotribology. CRC Press, Boca Raton, New York, London (1995)

    Google Scholar 

  3. Bhushan, Bharat; Koinkar, Vilas N.: Microtribological studies of doped single-crystal silicon and poly silicon films for MEMS devices. Sensors and Actuators, A57 (1996) p. 83–89

    Google Scholar 

  4. Bolz, Ray E.; Tuve, George L. (eds.): CRC Handbook of tables for Applied Engineering Science. CRC Press, Boca Raton, 2. ed. (1987)

    Google Scholar 

  5. Fatikow, Sergej; Rembold, Ulrich: Microsystem Technology and Microrobotics. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1997)

    MATH  Google Scholar 

  6. Fujimasa Iwao: Micromachines: a new era in mechanical engineering. Oxford University Press, Oxford, New York, Tokyo (1996)

    Google Scholar 

  7. Gerlach, Gerald; Dötzel, Wolfram: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Hanser, München, Wien (1997)

    Google Scholar 

  8. Heimann, Bodo; Gerth, Wilfried; Popp, Karl: Mechatronik: eine Einführung in die Komponenten zur Synthese und die Methoden zur Analyse mechatronischer Systeme. Hanser, München, Wien (1998)

    Google Scholar 

  9. Janocha, Hartmut (Hrsg.): Aktoren: Grundlagen und Anwendungen. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1992)

    Google Scholar 

  10. Jendritza, Daniel J.; Bölter, Ralf; Fleischer, Maximilian u. a.: Technischer Einsatz neuer Aktoren: Grundlagen. Werkstoffe, Designregeln und Anwendungsbeispiele. expert, Renningen-Malmsheim (1995)

    Google Scholar 

  11. Kasper, Manfred: Electrostatic Motors. Actuator 90, Proceedings of the 2nd International Technology-Transfer Congress Bremen, (1990), S. 195–198.

    Google Scholar 

  12. Koenemann, Paul B.; Busch-Vishniac, Ilene J.; Wood, Kristin L.: Feasibility of Micro Power Supplies for MEMS. Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 6 (1997) p. 355–362

    Article  Google Scholar 

  13. Landolt-Börnstein Neue Serie Gruppe III: Kristall- und Festkörperphysik. Bd. 11. Elastische. piezoelektrische. pyroelektrische. piezooptische, elektrooptische Konstanten und nichtlineare dielektrische Suszeptibilitäten von Kristallen. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1979)

    Google Scholar 

  14. Landolt-Börnstein Neue Serie Gruppe III: Kristall- und Festkörperphysik. Bd. 16a. Ferroelectrics and related Substances. Subvol. a: Oxides. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1981)

    Google Scholar 

  15. Madou, Marc: Fundamentals of Microfabrication. CRC Press, Boca Raton (1997)

    Google Scholar 

  16. Nürnberg, Werner: Die Asynchronmaschine. Springer, Berlin, Heidelberg, New York, 2. Aufl. (1979)

    Google Scholar 

  17. Trimmer, William S.: Microrobots and Micromechanical Systems. Sensors and Acuators, 19 (1989) p. 267–287

    Article  Google Scholar 

  18. Trimmer, William S. (ed.): Micromechanics and MEMS: classical and seminal papers to 1990. IEEE Press, New York (1996)

    Google Scholar 

  19. Torres, J. M.; Dhariwal, R. S..: Electric Field Breakdown at Micrometer Separations in Air and Vacuum. In: Reichl, Herbert; Obermeier, Ernst (Hrsg.): Micro System Technologies 98, 6th int. Conference, vde Verlag, Berlin, Offenbach (1998)

    Google Scholar 

  20. Young, Warren C.: Roark’s Formulas for Stress and Stain. McGraw-Hill, New York, St. Louis, San Francisco, 6. ed. (1989)

    Google Scholar 

  21. Zum Gahr, K. H. (Hrsg.): Reibung und Verschleiß. Mechanismen — Prüf technik — Werkstoffeigenschaften. Deutsche Gesellschaft für Metallkunde, Oberursel (1983)

    Google Scholar 

  22. Zum Gahr, Karl-Heinz: Microtribology. Interdisciplinary Science Review, Vol. 18 (1993) p. 259–266

    Article  Google Scholar 

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Kasper, M. (2000). Mikroaktoren. In: Mikrosystementwurf. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7_12

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7_12

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

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