Zusammenfassung
Die erzielbaren Ergebnisse plasmadiagnostischer Untersuchungen sind eng mit den vorhandenen Aufbauten (Größe) und der meßtechnischen Realisierbarkeit verknüpft /177-179/. Dies schließt die Beschränkungen ein, die durch die Wahl der Diagnostikmethode für die Bestimmung der reaktiven Gaszustände (Teilchen, Reaktionen...) entstehen. So muß z. B. für die optische in situ-Emissionsspek-troskopie berücksichtigt werden, daß der Anteil spontan emittierender Teilchen nur einen Bruchteil des gesamten chemischen Systems darstellt /8/.
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© 1998 Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg
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Stratil, P. (1998). Umsetzung der Plasmadiagnostik (Experiment zum industriellen Aufbau). In: Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien. IPA-IAO - Forschung und Praxis, vol 265. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47916-8_5
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-47916-8_5
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