Herstellung integrierter Schaltungen in CMOS-Technik

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Part of the Springer-Lehrbuch book series (SLB)

Zusammenfassung

Der seit mehreren Jahrzehnten anhaltende Erfolg der Mikroelektronik beruht im Wesentlichen auf der Eigenschaft der Integrierbarkeit elektronischer Schaltungen, d.h. der Möglichkeit, einzelne Bauelemente gemeinsam auf einem Siliziumplättchen, dem so genannten Chip, herzustellen. Moderne Technologien erlauben dabei Integrationsdichten von mehreren Millionen und mehr Bauelementen pro Chip, was die kostengünstige Herstellung selbst komplexer Schaltungen, wie z.B. Mikroprozessoren, auf einem einzigen Chip von nur wenigen Quadratzentimetern Fläche ermöglicht.

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© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2011

Authors and Affiliations

  1. 1.Elektronik/Fakultät ET Helmut-Schmidt-UniversitätUniversität der Bundeswehr HamburgHamburgDeutschland

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