Nanomess- und Positioniertechnik

Zusammenfassung

Die enormen Fortschritte in der Mikroelektronik, Mikrotechnik, Nanotechnik, Optik, Werkstofftechnik Bowie in der Präzisionstechnik stellen erhöhte Anforderungen an die Nanomess- and Nanopositioniertechnik. Die Nanomess- and Nanopositioniertechnik liefert technologische Ausrüstungen, welche die Positionierung, Messung, Antastung, Bearbeitung and Manipulation von Objekten mit Nanometerpräzision ermöglichen. An die technologischen Ausrüstungen werden Forderungen nach immer großeren Bewegungsbereichen mit extremen Genauigkeiten and hohen Positioniergeschwindigkeiten, wobei neuartige Tastsysteme and Nanotools einzubinden sind, gestellt. Zu den modernen Tastsystemen gehören die Rasterkraft- and Tunnelmikroskope, die allerdings nur Messbereiche von maximal 100 μm × 100μm × 15μm bei atomarer Auflösung besitzen. Es besteht jedoch bereits ein Bedarf nach grßeren Messbereichen (mm, cm). Das betrifft insbesondere solche Technologien and Techniken, die in Abb. 1 aufgeftihrt sind.