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Verdrängerpumpen

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Handbuch Vakuumtechnik

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Zusammenfassung

Die Verdrängerpumpen sind die wichtigsten Pumpen der Vakuumtechnik. Nach DIN 28 400, Teil 2 (1980), wird die Verdränger—Vakuumpumpe definiert als „Vakuumpumpe, die das zu fördernde Gas mit Hilfe von Kolben, Rotoren, Schiebern usw., die mit oder ohne Flüssigkeit gegeneinander abgedichtet sind, ggf. über Ventile ansaugt, verdichtet und ausstößt“.

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Literatur

  1. M. Hablanian, E. Bez und J. L. Farrand, Elimination of backstreaming from mechanical vacuum pumps. J. Vac. Sci. Techn., A5 (1987). S. 2612...2615.

    Article  ADS  Google Scholar 

  2. Lachenmann, R., Vakuumerzeugung im chemischen Labor, in Handbuch Verdichter, Teil II, Vakuumpumpen, S. 315...319. Vulkan-Verlag, Essen 1990.

    Google Scholar 

  3. Faragullah, W. H., Flüssigkeitsring—Vakuumpumpen und —Kompressoren, 1985. Im Eigenverlag, Pf. 2502, D-6231 Schwalbach/Ts. 2. Auflage, 221 S.

    Google Scholar 

  4. Mathy, C., Energy saving in industrial vacuum by the use of liquid ring machines. Proc. 8th International Vac. Congress, Cannes 1980, Suppl. Rev. Le Vide, Nr„ 295, Bd. 2, S. 38–48.

    Google Scholar 

  5. Bartels, D., Vakuumpumpen in der chemischen Industrie. Flüssigkeitsring—Vakuumpumpen/A. Vakuum Technik, 29 (1980) Nr. 5, S. 131...140.

    MathSciNet  Google Scholar 

  6. Bartels, D., Vakuumpumpen in der chemischen Industrie. Flüssigkeitsring—Vakuumpumpen/A. Vakuum Technik, 29 (1980) Nr. 5, S. 131–140.

    MathSciNet  Google Scholar 

  7. Powle, U. W. und S. Kar, Investigations on pumping speed and compression work of liquid ring vacuum pumps. Vacuum, 33 (1983), 5, S. 255...263.

    Article  Google Scholar 

  8. Segebrecht, U., Förderung von trockener Luft etc. In Handbuch Verdichter, Teil II Vakuumpumpen, S. 356...363. Vulkan-Verlag, Essen 1990

    Google Scholar 

  9. Segebrecht, U., Förderung von trockener Luft etc. In Handbuch Verdichter, Teil II Vakuumpumpen, S. 356...363. Vulkan-Verlag, Essen 1990

    Google Scholar 

  10. Pneurop, Vakuumpumpen, Abnahmeregeln Teil 1 , Maschinenbau—Verlag GmbH, Ffm. 1979, und DIN 28 426, Teil 1 (1983).

    Google Scholar 

  11. Brieskorn, E. und H. Körner, Ebene algebraische Kurven, Birkhäuser, Basel 1981.

    Google Scholar 

  12. Wutz, M., Vakuumpumpen nach dem Kreiskolbenprinzip. VDI-Z. 117 (1975) Nr. 6, S. 271...281.

    ADS  Google Scholar 

  13. Laurenson, L., Technology and application of pumping fluids. J. Vac. Sci. Techn., 20 (1982) Nr. 4, S. 989...995.

    Article  ADS  Google Scholar 

  14. Jorisch, W. und D. Oswald, Mechanische Vakuumpumpen und —Pumpsysteme als maßgeschneiderte Vakuumeinheiten in der Chemie (3 Seiten). Chemie — Technik (1987) H. 12.

    Google Scholar 

  15. Jorisch, W. und J. Moll, Vakuum—Pumpen und Vakuum—Pumpsätze für die industrielle V akuumTechnik. Handbuch Verdichter, Teil II; Vakuumpumpen, S. 402...409. Vulkan-Verlag, Essen 1990.

    Google Scholar 

  16. Connock, P., A. Devaney and I. Currington, Vacuum pumping of aggressive and dust laden vapors. J. Vac. Sci. Techn., 18 (1981) Nr. 3, S. 1033...1036.

    Article  ADS  Google Scholar 

  17. Dennis, N. T. M., L. J. Budgen und L. Laurenson, Mechanical boosters on clean or corrosive applications. J. Vac. Sci. Techn., 18 (1981) Nr. 3, S. 1030...1032. l

    Article  ADS  Google Scholar 

  18. Fischer, K., J. Henning, K. Abbel und H. Lotz, Pumping of corrosive or hazardous gases with turbomolecular and oil—filled rotary vane backing pumps. J. Vac. Sci. Techn., 18 (1981) Nr. 3, S. 1026...1029.

    Article  ADS  Google Scholar 

  19. Carrington, I., u.a., Mechanical vacuum pumping equipment involving corrosive and aggressive materials. J. Vac. Sci. Techn., 20 (1982) Nr. 4, S. 1019...1082.

    Article  ADS  Google Scholar 

  20. Pujol, E., Vakuumtechnik im Einsatz bei chemischen Prozessen. In Handbuch Verdichter, Teil II Vakuumpumpen. S. 424...430. Vulkan-Verlag, Essen 1990.

    Google Scholar 

  21. Duval, P., Using mechanical vacuum pumps for L.P., CVD, plasma etching and reactive ion etching.Proc. 8th Intern. Vac. Congr. Cannes 1980, Suppl. Rev. Le Vide Nr. 201, Bd. 2, S. 26...29.

    Google Scholar 

  22. Duval, P., Pumping chlorinated gases in plasma etching. J. Vac. Sci. Techn., Al (1983) Nr. 2, S. 223...226.

    Google Scholar 

  23. Valente, M., Perfluoropolyether vacuum fluids for safety in semiconductor processing. Vacuum, 35 (1985), S. 511...512 (abstract).

    Article  Google Scholar 

  24. O’Hanlon, J. F., Vacuum pump fluids, J. of Vac. Sci. and Techn., A2 (1984), S. 174...181.

    Article  ADS  Google Scholar 

  25. Lang, H. G., Betriebsmittel für Vakuumpumpen in der chemischen Industrie und in der Kunststoffindustrie. In Handbuch Verdichter, Teil II Vakuumpumpen, S. 418...423. Vulkan-Verlag, Essen 1990.

    Google Scholar 

  26. Berges, H. P., u.a., Increased life and reliability of rotary vane pumps by using process fitting accessories for pumping aggressive gases. Proc. 8th Intern. Vac. Congress, Cannes 1980. Suppl. Rev. Le Vide. Nr. 201. Bd. 2 S. 30...33.

    Google Scholar 

  27. Fischer, K., u.a., Pumping of corrosive or hazardous gases with turbomolecular and oil—filled rotary vane backing pumps. Vacuum 32 (1982) Nr. 10/11, S. 619...621.

    Article  Google Scholar 

  28. Bachmann, P., Berges, H.-P., Sicherheitsaspekte beim Einsatz ölgedichteter Drehschieber—Vakuumpumpen in CVD-Anwendungen. VakuumTechnik, 36 (1987), 41...47.

    Google Scholar 

  29. Whikman, Chr. B., Reclamation of vacuum pump fluids. J. Vac. Sci. Techn., A5 (1987), S. 255...261.

    Article  ADS  Google Scholar 

  30. Gaede, W., Gasballastpumpen. Zschr. f. Naturforschung, 2a (1947), S. 233...238.

    ADS  Google Scholar 

  31. Thees, R., Vakuumpumpen und ihr Einsatz zum Absaugen von Dämpfen. Vakuum-Technik, 6b (1957), S. 160...170.

    Google Scholar 

  32. Reyländer, H., Über die Wasserdampfverträglichkeit von Gasballastpumpen. Vakuum-Technik, 7 (1958), S. 78...81.

    Google Scholar 

  33. Duval, P. and J. Long, Water vapor pumping with vane pumps. A critic of the PNEUROP method. Proc. 9. Intern. Vac. Congr., Madrid 1983. p. 89.

    Google Scholar 

  34. Fulker, M. J., Backstreaming from rotary pumps. Vacuum, 18 (1968) Nr. 8, S. 445...449.

    Article  Google Scholar 

  35. Baker, M. A., Holland, L. and Stanton, D. A. G., The design of Rotary Pumps and Systems to Provide Clean Vacua. J. Vac. Sci. Techn., 9 (1972), Heft 1. S. 412...415.

    Article  ADS  Google Scholar 

  36. Harris, N. S., Rotary pump back—migration. Vacuum, 28 (1978) Nr. 6/7, S. 261...268.

    Article  Google Scholar 

  37. Laurenson, L., et al., Rotary pump backstreaming; An analytical appraisal of practical results and the factors affecting them. J. Vac. Sci. Techn., A6 (1988), S. 238...242.

    Article  ADS  Google Scholar 

  38. Mirgel, K. H., Vane—type pump with fresh oil lubrication and 100 °C—technique saves energy and avoids pollution. Proc. 8th Internat. Vac. Congr., Cannes 1980. Suppl. Rev. Le Vide, Nr. 201, Bd. 2, S. 49...52.

    Google Scholar 

  39. Baratti, A., Absaugen von feuchten und korrosiven Gasen mit mechanischen Vakuumpumpen. In Handbuch „Verdichter“, Teil II Vakuumpumpen, S. 379...383. Vulkan-Verlag, Essen 1990.

    Google Scholar 

  40. Atta, C. M. van, Vacuum Science and Engineering. New York, McGraw-Hill Book Company 1965, S. 1M ff.

    Google Scholar 

  41. Atta, C. M. van, Theory and performance characteristics of a positive displacement rotary compressor as a mechanical booster vacuum pump. Trans. 1956 Nat. Sym. Vacuum Technology.

    Google Scholar 

  42. Hamacher, H., Beitrag zur Berechnung des Saugvermögens von Rootspumpen. Vakuum—Technik, 19 (1970), S. 215...221.

    Google Scholar 

  43. Hamacher, H., Kennfeld—Berechnung für Rootspumpen. DLR FB 69–88 (1969).

    Google Scholar 

  44. Lorenz, A. und Armbruster, W., Das maximale Kompressionsverhältnis und der volumetrische Wirkungsgrad von Vakuumpumpen nach dem Rootsprinzip. Vakuumtechnik, 7 (1958), S. 81...85.

    Google Scholar 

  45. Bormuth, Ph., Ermittlung der Temperaturerhöhung in Roots—Gebläsen, Konstruktion, 13 (1961), S. 21...23. (Trockenläufer)

    Google Scholar 

  46. Wycliffe, H., Mechanical high—vacuum pumps with an oil—free swept volume. J. Vac. Sci. Techn., A5 (1987), S. 2608...2611.

    Article  ADS  Google Scholar 

  47. Troup, A. P. und D. Turell, Dry pump operating under harsh conditions in the semiconductor industry. J. Vac. Sci. Techn., A7 (1989), S. 2381...2386.

    Article  ADS  Google Scholar 

  48. Laurenson, L. und D. Turell, The performance of a multistage dry pump operating under non—standard conditions. Vacuum, 38 (1988), S. 665...668.

    Article  Google Scholar 

  49. Duval, P., Selection criteria for oil—free vacuum pumps. J. Vac. Sci. Tech., A7 (1989), S. 2369...2372.

    Article  ADS  Google Scholar 

  50. Hablanian, M.H., The emerging technologies of oil-free vacuum pumps, J. Vac. Sci. Techn., A6 (1988), S. 1177...1182.

    Article  ADS  Google Scholar 

  51. Woreg, W., et al., An evaluation of the composition of the residual gas atmosphere above a commercial dry pump. J. Vac. Sci. Techn., A6 (1988), S. 1183...1186.

    Article  ADS  Google Scholar 

  52. Berges, H. P. und D. Goetz, Oil-free vacuum pumps of compact design. Vacuum, 38 (1988), S. 761...763.

    Article  Google Scholar 

  53. Kleinschmidt, O., et al., Present and future Vacuum Pump Systems. Solid State Technology (1988).

    Google Scholar 

  54. Berger, H. P. und M. Kuhn, Handling of particles in fore vacuum pumps. Vacuum, 41 (1990), S. 1828...1832.

    Article  Google Scholar 

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  1. Max Wutz
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  2. Hermann Adam
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  3. Wilhelm Walcher
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  4. Karl Jousten
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Wutz, M., Adam, H., Walcher, W., Jousten, K. (2000). Verdrängerpumpen. In: Handbuch Vakuumtechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-99947-4_5

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  • Print ISBN: 978-3-322-99948-1

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