Zusammenfassung
Die Vakuumtechnik hatte spätestens mit Edisons Glühlampenproduktion aus der Nische der reinen Labortechnik herauszutreten. 500 automatische Sprengelpumpen wurden in Edisons erster Fabrik zur Glühlampenproduktion eingesetzt. Seither haben sich viele weitere, sehr bedeutende Industriezweige entwickelt, die auf die Vakuumtechnik angewiesen sind, erwähnt sei hier nur die Mikroelektronikindustrie. Diese Industriezweige sind für die Vakuumtechnik wirtschaftlich wesentlich bedeutender als die physikalische Forschung. Man schätzt, dass in den USA etwa 80% der Verkäufe von vakuumbezogener Ausrüstung allein in die Halbleiterindustrie gehen. Die Bedeutung der Vakuumtechnik für die physikalische Forschung hat jedoch keinesfalls nachgelassen. Kaum ein physikalisches Experiment findet außerhalb des Vakuums statt.
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Literatur
J. R. Arthur, Vacuum Gauging in the electronics industry, J. Vac. Sci. Technol. A 5 (1987), 3230… 3231.
J. F. O’Hanlon and H. G. Parks, Impact of vacuum equipment contamination on semiconductor yield, J. Vac. Sci. Technol. A 10 (1992), 1863… 1868.
R. K. Waits, Controlling your vacuum process: Effective use of a QMA, Semiconductor International, May, 1994, 79… 84.
M. E. Buckley, Process control in the semiconductor manufacturing environment using a high pressure quadrupole mass spectrometer, Vacuum 44, 1993, 665… 668.
D. Gennermann, Abgasmanagement von Vakuumprozessen moderner Halbleiter-Produktionsanlagen, Vakuum in Forschung und Praxis 1 (2000), 29… 33.
S. Fischer, Fluorvorbehandlungsanlagen mit trockenlaufenden Vakuumpumpen, Vakuum in Forschung und Praxis 2 (2000), 112… 113.
G. Zilly, Entgasung von Wasser unter Vakuum, Vakuum in Forschung und Praxis 3 (2000), 180… 183.
W. , Vakuum in der Abwasseraufbereitung, Vakuum in Forschung und Praxis 2 (1996), 92… 96.
K.-H. Nikutta, Vakuum-Befilllverfahren beim Automobil, Vakuum in Forschung und Praxis 3 (1993), 159… 164.
P. Hix, Vakuum und Musik, Vakuum in Forschung und Praxis 4(1992), 271… 272.
R. Herrmann und P. Rustler, Vakuum-Metallisierung als daktyloskopische Spurensicherungsmethode bei der deutschen Polizei, Vakuum in Forschung und Praxis 1(2002), 30…32.
Scott Faber, Gravity’s Secret, New Scientist, November 1994, 40… 44.
J.P. Hobson, The future of vacuum technology, J. Vac. Sci. Technol. A 2 (1984), 144… 149.
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Jousten, K. (2004). Anwendungen und Aufgaben der Vakuumtechnik. In: Jousten, K. (eds) Wutz Handbuch Vakuumtechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-96971-2_2
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