Zusammenfassung
Optische Funktionalität ist wie in Abschnitt 1.1 erläutert eine von mehreren möglichen Funktionen, die ein Mikrosystem ausmachen. Optik wird in diesem Buch in einem eigenständigem Kapitel behandelt, da anders als bei z.B.mechanischer Funktionalität die hier behandelte Optik nur mit Mikrostrukturierungsmethoden hergestellt werden kann.
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© 2000 B. G. Teubner Stuttgart · Leipzig
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Mescheder, U. (2000). Optik in der Mikrosystemtechnik. In: Mikrosystemtechnik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94037-7_5
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94037-7_5
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag
Print ISBN: 978-3-519-06256-1
Online ISBN: 978-3-322-94037-7
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